[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖案的形成方法及印刷配線板的制造方法在審
| 申請號： | 201210427467.5 | 申請日： | 2012-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN103091985A | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發明（設計）人： | 村松有紀子;宮坂昌宏;岡出翔太 | 申請（專利權）人： | 日立化成工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/033 | 分類號： | G03F7/033;G03F7/00;H05K3/06;H05K3/18 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 白麗;陳建全 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 樹脂 組合 元件 圖案 形成 方法 印刷 線板 制造 | ||
1.一種感光性樹脂組合物，其含有：
（A）粘合劑聚合物，其具有：來自（甲基）丙烯酸的結構單元、和來自從由（EO）改性二環戊烯基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性二環戊基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性異冰片基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性金剛烷基（甲基）丙烯酸酯及（EO）改性環己基（甲基）丙烯酸酯組成的組中選擇的至少1種（甲基）丙烯酸酯的結構單元；
（B）光聚合性化合物；以及
（C）光聚合引發劑。
2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（A）粘合劑聚合物進一步具有來自從由苯乙烯及苯乙烯衍生物組成的組中選擇的至少1種聚合性單體的結構單元。
3.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（B）光聚合性化合物含有雙酚A系二（甲基）丙烯酸酯化合物。
4.根據權利要求1~3任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（C）光聚合引發劑含有2，4，5-三芳基咪唑二聚物。
5.根據權利要求1~4任一項所述的感光性樹脂組合物，其還進一步含有（D）在340nm~430nm具有最大吸收的增感色素。
6.一種感光性元件，其具備支撐膜和形成在所述支撐膜上作為權利要求1~5任一項所述的感光性樹脂組合物的涂膜的感光性樹脂組合物層。
7.一種抗蝕圖案的形成方法，其具有下述工序：
將作為權利要求1~5任一項所述的感光性樹脂組合物的涂膜的感光性樹脂組合物層或權利要求6所述的感光性元件的感光性樹脂組合物層層疊在基板上的層疊工序；
對所述感光性樹脂組合物層的至少一部分區域照射活性光線以使所述區域固化而形成光固化部的曝光工序；以及
將所述感光性樹脂組合物層的除光固化部以外的區域從所述基板上除去、從而在所述基板上形成由所述感光性樹脂組合物的光固化物構成的抗蝕圖案的顯影工序。
8.一種印刷配線板的制造方法，其具有將通過權利要求7所述的形成方法形成了抗蝕圖案的基板進行刻蝕處理或鍍覆處理而形成導體圖案的工序。
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