[發(fā)明專利]保持接口單元內(nèi)部潔凈度裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210425780.5
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN103794466A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王繼周;張爽;胡延兵;門恩國
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓涂膠顯影生產(chǎn)領(lǐng)域，具體地說是一種保持接口單元內(nèi)部潔凈度裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體前道工藝晶圓的生產(chǎn)過程中，對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度和晶圓產(chǎn)能要求都非常嚴(yán)格。一般情況下凈化間潔凈度為100級，而TRACK(涂膠顯影設(shè)備)內(nèi)部潔凈度要求為1級；同時TRACK產(chǎn)能在90nm工藝中主流指標(biāo)為150WPH(Wafer?per?Hour)。在TRACK和光刻機(jī)實際生產(chǎn)中，會經(jīng)常因設(shè)備內(nèi)部故障或設(shè)備定期維護(hù)而導(dǎo)致設(shè)備停機(jī)。這種狀態(tài)下，作為TRACK與光刻機(jī)連接的接口單元需要被移出以便操作人員工作。現(xiàn)階段接口單元與TRACK或光刻機(jī)連接側(cè)面的設(shè)計為開放式，在被移出時接口單元直接暴露于生產(chǎn)環(huán)境中而導(dǎo)致內(nèi)部潔凈度下降，在恢復(fù)生產(chǎn)前為保證潔凈度指標(biāo)需進(jìn)行內(nèi)部送風(fēng)除塵。送風(fēng)除塵操作一般需耗時30-40分鐘，這種操作既消耗能源又浪費了生產(chǎn)時間，對現(xiàn)在要求的高速高質(zhì)生產(chǎn)模式構(gòu)成了一定的阻礙。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種保持接口單元內(nèi)部潔凈度裝置，該保持接口單元內(nèi)部潔凈度裝置有效地解決接口單元兩側(cè)開口部直接暴露于生產(chǎn)環(huán)境中而導(dǎo)致內(nèi)部潔凈度下降，大幅提升實際生產(chǎn)的效率。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種保持接口單元內(nèi)部潔凈度裝置，所述裝置設(shè)置于與TRACK及光刻機(jī)連接的接口單元兩側(cè)開口部，包括遮蔽擋板和與其連接的驅(qū)動裝置，所述遮蔽擋板通過驅(qū)動裝置驅(qū)動關(guān)閉或打開接口單元與TRACK及光刻機(jī)相連接的開口部。

所述驅(qū)動裝置設(shè)置于接口單元的框架的內(nèi)壁上。所述遮蔽擋板與接口單元的開口部框架內(nèi)壁結(jié)合處設(shè)置密封裝置。所述驅(qū)動裝置與TRACK主機(jī)連接、并由TRACK主機(jī)控制其動作。

所述設(shè)置于接口單元與光刻機(jī)相連接處的裝置，其遮蔽擋板包括下板，下板與驅(qū)動裝置連接、并通過驅(qū)動裝置驅(qū)動關(guān)閉或打開接口單元與光刻機(jī)相連接的開口部。

所述設(shè)置于接口單元與TRACK連接處的裝置，其遮蔽擋板包括上板和下板I，所述上板和下板I分別設(shè)置于接口單元開口部的框架鈑金開口的上下兩端、并分別與獨立的驅(qū)動裝置連接，所述上板和下板I通過各自連接的驅(qū)動裝置驅(qū)動、同時相向運動或反相運動，實現(xiàn)關(guān)閉或打開接口單元與TRACK連接的開口部。

接口單元框架內(nèi)設(shè)有防止上板脫落的支撐裝置。所述支撐裝置包括氣缸III和氣缸架III，其中氣缸架III設(shè)置于接口單元框架的內(nèi)壁上，所述氣缸III設(shè)置于氣缸架III上、并一端設(shè)有導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿伸出、并設(shè)置于上板的下部，防止上板意外脫落。

所述框架的內(nèi)壁兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌，所述上板和下板I的兩側(cè)通過滑塊在導(dǎo)軌上滑動。所述驅(qū)動裝置包括氣缸和氣缸架，其中氣缸通過氣缸架安裝在接口單元框架的內(nèi)壁上。

本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是：

1.本發(fā)明通過自動開閉接口單元開口部，實現(xiàn)了生產(chǎn)維護(hù)中對接口單元內(nèi)部空氣潔凈度的要求，很大程度上節(jié)省了再處理時間，提高產(chǎn)能節(jié)省經(jīng)費。

2.本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單，實現(xiàn)方便，價格低廉等特點。

3.本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)接口單元開口部自動開閉，根據(jù)實際情況的正常生產(chǎn)和維護(hù)可實時實現(xiàn)自動切換。

附圖說明

圖1為本發(fā)明在接口單元與光刻機(jī)連接處開口部的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明在接口單元與TRACK連接處開口部的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2中II處放大圖；

圖4為圖2中I處放大圖；

其中：1為框架，2為框架鈑金開口I，3為進(jìn)氣管I，4為出氣管I，5為氣缸I，6為氣缸架I，7為下板I，8為滑塊，9為上板，10為氣缸架II，11為氣缸II，12為進(jìn)氣管II，13為出氣管II，14為氣缸II，15為氣缸固定板，16為進(jìn)氣管III，17為出氣管III，18為框架鈑金開口II，19為進(jìn)氣管IV，20為出氣管IV，21為氣缸IV，22為氣缸架IV，23為下板II。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。

本發(fā)明設(shè)置于與TRACK及光刻機(jī)連接的接口單元兩側(cè)開口部，包括遮蔽擋板和與其連接的驅(qū)動裝置，所述遮蔽擋板通過驅(qū)動裝置驅(qū)動關(guān)閉或打開接口單元與TRACK及光刻機(jī)相連接的開口部，所述遮蔽擋板與接口單元開口部的框架內(nèi)壁結(jié)合處設(shè)置密封裝置。所述驅(qū)動裝置設(shè)置于接口單元的框架1的內(nèi)壁上，驅(qū)動裝置與TRACK主機(jī)連接、并由TRACK主機(jī)控制其動作。所述驅(qū)動裝置可采用氣缸裝置或電機(jī)。TRACK主機(jī)為現(xiàn)有技術(shù)。