[發明專利]保持接口單元內部潔凈度裝置

在審

• 申請號: 201210425780.5
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN103794466A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 王繼周;張爽;胡延兵;門恩國
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述裝置設置于與TRACK及光刻機連接的接口單元兩側開口部，包括遮蔽擋板和與其連接的驅動裝置，所述遮蔽擋板通過驅動裝置驅動關閉或打開接口單元與TRACK及光刻機相連接的開口部。

2.按權利要求1所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述驅動裝置設置于接口單元的框架(1)的內壁上。

3.按權利要求1所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述遮蔽擋板與接口單元的開口部框架內壁結合處設置密封裝置。

4.按權利要求1或2所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述驅動裝置與TRACK主機連接、并由TRACK主機控制其動作。

5.按權利要求1-3所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述設置于接口單元與光刻機相連接處的裝置，其遮蔽擋板包括下板(7)，下板(7)與驅動裝置連接、并通過驅動裝置驅動關閉或打開接口單元與光刻機相連接的開口部。

6.按權利要求1-3所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述設置于接口單元與TRACK連接處的裝置，其遮蔽擋板包括上板(9)和下板I(7)，所述上板(9)和下板I(7)分別設置于接口單元開口部的框架鈑金開口(2)的上下兩端、并分別與獨立的驅動裝置連接，所述上板(9)和下板I(7)通過各自連接的驅動裝置驅動、同時相向運動或反相運動，實現關閉或打開接口單元與TRACK連接的開口部。

7.按權利要求6所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：接口單元框架(1)內設有防止上板(9)脫落的支撐裝置。

8.按權利要求7所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述支撐裝置包括氣缸III(14)和氣缸架III(15)，其中氣缸架III(15)設置于接口單元框架(1)的內壁上，所述氣缸III(15)設置于氣缸架III(15)上、并一端設有導桿，所述導桿伸出、并設置于上板(9)的下部，防止上板(9)意外脫落。

9.按權利要求6所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述框架(1)的內壁兩側設有導軌，所述上板(9)和下板I(7)的兩側通過滑塊(8)在導軌上滑動。

10.按權利要求1或2所述的保持接口單元內部潔凈度裝置，其特征在于：所述驅動裝置包括氣缸和氣缸架，其中氣缸通過氣缸架安裝在接口單元框架(1)的內壁上。