[發(fā)明專利]光刻膠與顯影液的恒溫控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210424510.2
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN103792790A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王沖
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/30;G05D23/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及IC及LED行業(yè)，具體地說是一種光刻膠與顯影液的恒溫控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在IC(集成電路)及LED(發(fā)光二極管)行業(yè)，需要進(jìn)行大量的光刻膠涂覆和顯影作業(yè)，而光刻膠與顯影液的溫度對光刻膠的涂覆和顯影效果有直接影響。在IC及LED行業(yè)，為了提高產(chǎn)品良率，對光刻膠的膜厚，均勻性和顯影的均勻性都有較高的要求。為了達(dá)到這種要求，就需要在進(jìn)行光刻膠涂覆和顯影作業(yè)時(shí)，保證光刻膠和顯影液的溫度。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種光刻膠與顯影液的恒溫控制系統(tǒng)。該光刻膠與顯影液的恒溫控制系統(tǒng)使光刻膠與顯影液從噴頭噴出時(shí)溫度恒定，并且可以根據(jù)工藝要求調(diào)整溫度，從而減小溫度對光刻膠涂覆和顯影的影響，達(dá)到提高產(chǎn)品良率的目的。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種光刻膠與顯影液的恒溫控制系統(tǒng)，包括恒溫水控制裝置、雙層套管組件及噴嘴，其中雙層套管組件設(shè)有兩個(gè)雙層管路，每個(gè)雙層管路的內(nèi)層管路一端均設(shè)有噴嘴，另一端均為藥液入口，每個(gè)雙層管路的外層管路與噴嘴同側(cè)的一端相互連通，兩個(gè)外層管路與藥液進(jìn)口同側(cè)的另一端分別設(shè)有恒溫水入口II和恒溫水出口II，所述恒溫水控制裝置的恒溫水入口I和恒溫水出口I通過管路分別與雙層套管組件的恒溫水出口II和恒溫水入口II連接，形成恒溫水回路，內(nèi)層管路浸泡在恒溫水中，通過熱交換控制內(nèi)層管路中光刻膠與顯影液的溫度。

所述雙層套管組件包括套管連接件I、套管連接件II、套管連接件III及兩個(gè)套管內(nèi)管和套管外管，其中兩個(gè)套管內(nèi)管分別設(shè)置于兩個(gè)套管外管內(nèi)，所述套管內(nèi)管外壁與套管外管的內(nèi)壁之間留有間隙，形成兩個(gè)所述雙層管路，每個(gè)雙層管路的一端分別通過套管連接件I和套管連接件II將套管內(nèi)管和套管外管連接，兩個(gè)雙層管路的另一端通過套管連接件III連接，所述套管連接件III上設(shè)有貫通兩個(gè)套管外管的通孔，所述套管連接件I和套管連接件II上分別設(shè)有與套管外管連通的恒溫水入口II和恒溫水出口II；每個(gè)套管內(nèi)管的一端均穿出套管連接件III設(shè)有噴嘴，另一端分別穿出套管連接件I、套管連接件II為藥液入口端。

所述套管連接件I和套管連接件II結(jié)構(gòu)相同，其上均設(shè)有階梯孔，所述套管內(nèi)管穿過該階梯孔、并與小直徑孔密封連接，階梯孔的大直徑端的端部沿軸向向外延伸形成接頭，所述接頭的內(nèi)徑大于套管內(nèi)管的直徑，接頭的外壁與套管外管的內(nèi)壁密封連接，所述套管連接件I和套管連接件II的側(cè)壁上分別設(shè)有與階梯孔的大直徑端連通的恒溫水入口II和恒溫水出口II。

所述階梯孔的小直徑孔端部設(shè)有容置密封機(jī)構(gòu)的沉孔，所述密封機(jī)構(gòu)包括密封壓塊和密封圈II，其中密封圈II套設(shè)于套管內(nèi)管上、并設(shè)置于沉孔的底部，所述密封圈II通過密封壓塊壓緊。

所述套管連接件III上設(shè)有兩個(gè)階梯孔，每個(gè)階梯孔內(nèi)均穿過套管內(nèi)管，每個(gè)套管內(nèi)管均與階梯孔的小直徑孔密封配合，兩個(gè)階梯孔的大直徑孔底部相互貫通、并端口部分別沿軸向向外延伸形成兩個(gè)接頭，每個(gè)接頭的內(nèi)徑大于套管內(nèi)管的直徑、并外壁與套管外管的內(nèi)壁密封連接。

所述套管連接件III上的兩個(gè)階梯孔的小直徑端均設(shè)有沉孔，所述噴嘴容置于該沉孔內(nèi)、并與套管內(nèi)管連接，噴嘴與沉孔的底部之間設(shè)有套設(shè)于套管內(nèi)管上的密封圈I。所述各藥液進(jìn)口端均設(shè)有閥門。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是：

1.本發(fā)明通過恒溫控制器產(chǎn)生恒溫水，恒溫水在外層管路中循環(huán)，內(nèi)層管路中為光刻膠或顯影液，通過內(nèi)層管路和外層管路之間進(jìn)行熱交換達(dá)到控制光刻膠與顯影液溫度的目的。

2.本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、安裝方便、響應(yīng)時(shí)間快，控溫精度高等特點(diǎn)。

3.本發(fā)明能通過對恒溫控制器溫度的設(shè)定來改變光刻膠與顯影液出口溫度。

4.本發(fā)明在光刻膠與顯影液流動(dòng)過程中進(jìn)行控溫，不占用設(shè)備工作時(shí)間。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的原理圖；

圖2為本發(fā)明的套管及密封結(jié)構(gòu)圖。

其中：1為冷卻水入口，2為冷卻水出口，3為閥門I，4為閥門II，5為套管連接件I，6為套管連接件III，7為套管連接件II，8為恒溫水入口I，9為恒溫水出口I，10為恒溫水控制裝置，11為噴頭固定座，12為密封圈I，13為噴嘴，14為恒溫水入口II，15為入口密封座，16為藥液入口I，17為出口密封座，18為密封壓塊，19為藥液入口II，20為密封圈II，21為恒溫水出口II，22為套管內(nèi)管，23為套管外管。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細(xì)描述。