[發明專利]光刻膠與顯影液的恒溫控制系統

有效

• 申請號: 201210424510.2
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN103792790A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 王沖
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/30;G05D23/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種光刻膠與顯影液的恒溫控制系統，其特征在于：包括恒溫水控制裝置(10)、雙層套管組件及噴嘴(13)，其中雙層套管組件設有兩個雙層管路，每個雙層管路的內層管路一端均設有噴嘴(13)，另一端均為藥液入口，每個雙層管路的外層管路與噴嘴(13)同側的一端相互連通，兩個外層管路與藥液進口同側的另一端分別設有恒溫水入口II(14)和恒溫水出口II(21)，所述恒溫水控制裝置(10)的恒溫水入口I(8)和恒溫水出口I(9)通過管路分別與雙層套管組件的恒溫水出口II(21)和恒溫水入口II(14)連接，形成恒溫水回路，內層管路浸泡在恒溫水中，通過熱交換控制內層管路中光刻膠與顯影液的溫度。

2.按權利要求1所述的光刻膠與顯影液的恒溫控制系統，其特征在于：所述雙層套管組件包括套管連接件I(5)、套管連接件II(7)、套管連接件III(6)及兩個套管內管(22)和套管外管(23)，其中兩個套管內管(22)分別設置于兩個套管外管(23)內，所述套管內管(22)外壁與套管外管(23)的內壁之間留有間隙，形成兩個所述雙層管路，每個雙層管路的一端分別通過套管連接件I(5)和套管連接件II(7)將套管內管(22)和套管外管(23)連接，兩個雙層管路的另一端通過套管連接件III(6)連接，所述套管連接件III(6)上設有貫通兩個套管外管(23)的通孔，所述套管連接件I(5)和套管連接件II(7)上分別設有與套管外管(23)連通的恒溫水入口II(14)和恒溫水出口II(21)；每個套管內管(22)的一端均穿出套管連接件III(6)設有噴嘴(13)，另一端分別穿出套管連接件I(5)、套管連接件II(7)為藥液入口端。

3.按權利要求2所述的光刻膠與顯影液的恒溫控制系統，其特征在于：所述套管連接件I(5)和套管連接件II(7)結構相同，其上均設有階梯孔，所述套管內管(22)穿過該階梯孔、并與小直徑孔密封連接，階梯孔的大直徑端的端部沿軸向向外延伸形成接頭，所述接頭的內徑大于套管內管(22)的直徑，接頭的外壁與套管外管(23)的內壁密封連接，所述套管連接件I(5)和套管連接件II(7)的側壁上分別設有與階梯孔的大直徑端連通的恒溫水入口II(14)和恒溫水出口II(21)。

4.按權利要求3所述的光刻膠與顯影液的恒溫控制系統，其特征在于：所述階梯孔的小直徑孔端部設有容置密封機構的沉孔，所述密封機構包括密封壓塊(18)和密封圈II(20)，其中密封圈II(20)套設于套管內管(22)上、并設置于沉孔的底部，所述密封圈II(20)通過密封壓塊(18)壓緊。

5.按權利要求2所述的光刻膠與顯影液的恒溫控制系統，其特征在于：所述套管連接件III(6)上設有兩個階梯孔，每個階梯孔內均穿過套管內管(22)，每個套管內管(22)均與階梯孔的小直徑孔密封配合，兩個階梯孔的大直徑孔底部相互貫通、并端口部分別沿軸向向外延伸形成兩個接頭，每個接頭的內徑大于套管內管(22)的直徑、并外壁與套管外管(23)的內壁密封連接。

6.按權利要求5所述的光刻膠與顯影液的恒溫控制系統，其特征在于：所述套管連接件III(6)上的兩個階梯孔的小直徑端均設有沉孔，所述噴嘴(13)容置于該沉孔內、并與套管內管(22)連接，噴嘴(13)與沉孔的底部之間設有套設于套管內管(22)上的密封圈I(12)。

7.按權利要求1所述的光刻膠與顯影液的恒溫控制系統，其特征在于：所述各藥液進口端均設有閥門。