[發明專利]太陽能液晶面板及其制作方法

有效

• 申請號: 201210423920.5
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN102902123A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 洪孟逸
• 申請（專利權）人: 南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1368
• 分類號: G02F1/1368;G02F1/1362;G02F1/1333;H01L21/77
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種太陽能液晶面板及其制作方法。

背景技術

a-Si（非晶硅材料）可作為薄膜太陽能材料，可與現有面板技術整合在一起，薄膜太陽能電池的架構為p+:ia-Si:n型之組成，TFT之結構則為ia-Si:n型之組成。

薄膜太陽能為將具有光伏效應的非結晶狀態的硅以薄膜形式鍍制在玻璃基板上進行光電轉換，形成p-i-n結構，圖1所示為薄膜太陽能太陽電池結構示意圖，圖1從上之下依序為：位于頂層的第一ITO?1、n型a-Si?2、i型a-Si?3、p型a-Si?4、以及第二ITO?5。通過以p型a-Si?4（p型非晶硅材料）與n型a-Si2（n型非晶硅材料）接合構成正極與負極，當太陽光照射太陽能電池時，陽光的能量會使半導體材料內的正、負電荷分離(產生電子-空乏對)；正、負電荷會分別往正(p型)、負(n型)極方向移動并且聚集產生電流。

液晶顯示器亦以非晶硅作為主動元件，利用i型a-Si作為開關元件并以n型非晶硅材料與源極漏極接觸進行導通，圖2所示為液晶顯示器的TFT結構示意圖，其結構為：底層為柵極10、覆蓋柵極10的絕緣層20、源極30、漏極40、位于絕緣層20上且正對柵極10的i型a-Si?50、以及位于源漏極與i型a-Si?50之間的n型a-Si?60。

通過上述可知薄膜太陽能電池盒液晶顯示器均設有n型a-Si和p型a-Si，但如何將他們結合是現在需要解決的問題，現有申請號為CN200810222779.6的專利提出在玻璃基板上形成太陽電池，在其上形成絕緣層后再生成陣列電路，但Amorphous?Si太陽能電池效率9.5%，非晶矽single?cell結構，(1-開口率60%)X偏光板50%x效率10%=2%，其實用性不高。

本專利即針對太陽能薄膜電池與主動式液晶顯示器材料共通的特性，提出一個整合兩者的結構與制造方法。

發明內容

本發明揭示一種針對太陽能薄膜電池與主動式液晶顯示器材料共通的特性，提出一個整合兩者的太陽能液晶面板及其制作方法。

本發明提供一種太陽能液晶面板，包括太陽能電池和TFT結構，所述TFT結構包括：位于底部的柵極、位于柵極上的絕緣層、位于絕緣層上的第一i型非晶硅層、位于第一i型非晶硅層上的源極n型非晶硅層和漏極n型非晶硅層、源極、以及漏極；所述太陽能包括位于底層的第二ITO透明電極、第二p型a-Si層、第二i型非晶硅層、以及太陽能n型非晶硅層，其中，第二i型非晶硅層與第一i型非晶硅層同時形成但位于不同的平面上，且所述源極一端位于源極n型非晶硅層上，源極的另一端位于第二i型非晶硅層上，所述漏極一端位于漏極n型非晶硅層上，漏極的另一端位于第二i型非晶硅層上。

本發明還提供一種太陽能液晶面板的制作方法，包括如下步驟：

第一步：在基板上形成柵極圖形，接著形成絕緣層圖形，并在形成絕緣層圖形后不移除絕緣層光阻，接著連續生成ITO透明電極和p型a-Si層，定義位于絕緣層光阻上的為第一ITO透明電極和第一p型a-Si層、位于基板上的為第二ITO透明電極和第二p型a-Si層；然后剝離絕緣層光阻；

第二步：在形成上述圖案的基礎上形成i型非晶硅層，定義位于絕緣層上的為第一i型非晶硅層、位于第二p型a-Si層為第二i型非晶硅層。

第三步：在形成第二步圖案的基礎上形成n型非晶硅層，并制作n型非晶硅層圖形，形成位于第一i型非晶硅層上的源極n型非晶硅層、漏極n型非晶硅層、并將TFT通道處的n型非晶硅層移除、位于第二i型非晶硅層上的太陽能n型非晶硅層；

第四步：在形成第三步圖案的基礎上形成源極圖形和漏極圖形，所述源極位于源極n型非晶硅層與第二i型非晶硅層之間，所述漏極位于漏極n型非晶硅層與第二i型非晶硅層之間；

第五步：在形成第四步圖案的基礎上覆蓋保護層，并在保護層上制作接觸孔；

第六步：在形成第五步圖案的基礎上，形成透明電極和信號線金屬，信號線金屬形成掃描線和數據線。

本發明太陽能液晶顯示面板整合現有液晶顯示器與薄膜太陽能的制程與材料，可以在基板上制作同時具有太陽能與液晶顯示器的元件，具有產生能源與控制顯示之用，可以應用在諸如窗玻璃等建筑材料之上。

附圖說明

圖1所示為現有薄膜太陽能太陽電池結構示意圖；

圖2所示為現有液晶顯示器的TFT結構示意圖；

圖3為本發明太陽能液晶面板的結構示意圖；

圖3A為圖3所示太陽能液晶面板在A-A’方向的剖視圖；