[發明專利]一種新的腐蝕工藝無效
| 申請號： | 201210423749.8 | 申請日： | 2012-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN103794681A | 公開（公告）日： | 2014-05-14 |
| 發明（設計）人： | 王紅亞 | 申請（專利權）人： | 王紅亞 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 264006 *** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 腐蝕 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種新的腐蝕工藝，其特征在于，所述工藝步驟如下：
（1）刻蝕：將待刻蝕晶片放入刻蝕機中刻蝕；
（2）去膠：刻蝕完的晶片按照順序裝入花籃中，將花籃放入正膠剝離液3368中，去膠后鏡檢，進行氧離子體打膠；
臺階儀測試：去膠結束后，使用臺階儀測量刻蝕臺階；
ITO退火：將刻蝕符合要求的晶片，進行ITO退火處理；
（5）PECVD：ITO退火后的晶片，在其表面淀積一層二氧化硅保護膜；用氧化氟膜厚分析儀測量陪片（Si片）上的二氧化硅厚度和折射率。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于王紅亞，未經王紅亞許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210423749.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：應用于電纜屏蔽層與外殼焊接的簡易連接器結構
- 下一篇：屋頂燈拆、裝器
