[發明專利]一種陣列基板檢測方法、檢測裝置及檢測系統

無效

• 申請號: 201210418843.4
• 申請日: 2012-10-26
• 公開（公告）號: CN102955097A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 孫亮;郭縂傑;郭會斌;丁向前
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02;G01B7/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 李娟

技術領域

本發明涉及陣列基板檢測技術領域，特別涉及一種陣列基板檢測方法、檢測裝置及檢測系統。

背景技術

陣列基板是液晶面板的關鍵部件，在陣列基板上設置有多種金屬配線，如在陣列基板上互相平行的柵極線和公共電極線，或互相垂直的柵極線和數據線等；這些金屬配線之間的距離一般都比較小，常因微小粉塵或金屬殘留，導致兩條金屬配線之間短路，特別是在互相平行的金屬配線之間，發生短路的機率最大，嚴重影響陣列基板的品質。因此，為了提高陣列基板的品質，需要對陣列基板中的金屬配線進行檢測，判斷陣列基板中是否有短路的金屬配線及短路出現位置，從而便于修復陣列基板上的出現短路的金屬配線。

目前，一般采用陣列基板測試（Array?Test，以下簡稱AT）設備來檢測陣列基板中是否有短路的金屬配線，具體測試方法如下：

如圖1所示，利用AT設備依次測量陣列基板上的相鄰或相近的兩條金屬配線之間的電阻值，當兩條金屬配線之間的電阻值無限大時，則判定這兩條金屬配線之間沒有短路情況發生；當兩條金屬配線之間的電阻值小于設定閾值時，如設定值為1千歐，則判定這兩條金屬配線之間發生短路；不過目前使用AT設備的檢測方法只能定位到線，即只能確定發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上排列位置，不能確定在金屬配線上短路發生的坐標位置，后續維修過程中只能靠人眼觀察的方式進行定位，效率較低。

發明內容

本發明的目的在于提供一種陣列基板檢測方法、檢測裝置及檢測系統，用以檢測陣列基板上的金屬配線之間是否有短路情況發生，并能確定金屬配線上短路發生的坐標位置。

為了實現上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種陣列基板檢測方法，包括：

獲取發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置，以及發生短路的兩條金屬配線之間的電壓值；

根據所述電壓值與從金屬配線一端到短路點的長度的對應關系，確定在金屬配線上短路發生的坐標位置。

優選地，所述電壓值與從金屬配線一端到短路點的長度的對應關系具體為：

V₁=V*L₁/L

其中，V₁為發生短路的兩條金屬配線之間的電壓值，V為電源輸出的電壓值，L₁為從金屬配線一端到短路點的長度，L為金屬配線的總長。

優選地，所述發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置具體通過依次測量相鄰兩條金屬配線之間的電阻獲得，當所述相鄰兩條金屬配線之間的電阻值小于設定閾值時，確定所述相鄰兩條金屬配線之間發生短路，所述發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置隨之確定。

優選地，所述發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置具體通過依次測量相鄰兩條金屬配線之間的電壓獲得，當相鄰兩條金屬配線之間有電壓值存在時，確定所述相鄰兩條金屬配線之間發生短路，所述發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置隨之確定。

本發明同時還提供了一種陣列基板檢測裝置，包括：

獲取設備，用于獲取發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置，以及發生短路的兩條金屬配線之間的電壓值；

控制設備，用于根據所述電壓值與從金屬配線一端到短路點的長度的對應關系，確定在金屬配線上短路發生的坐標位置。

優選地，所述獲取設備用于依次獲取相鄰兩條金屬配線之間的電阻值，當相鄰兩條金屬配線之間的電阻值小于設定閾值時，確定所述相鄰兩條金屬配線之間發生短路，所述發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置隨之確定。

優選地，所述獲取設備用于依次獲取相鄰兩條金屬配線之間的電壓值，當相鄰兩條金屬配線之間有電壓值存在時，確定所述相鄰兩條金屬配線之間發生短路，所述發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置隨之確定。

本發明同時還提供了一種陣列基板檢測系統，包括：

短路測量裝置，用于確定發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置；

電壓測量裝置，用于測量發生短路的兩條金屬配線之間的電壓值；

控制裝置，分別與所述短路測量裝置和電壓測量裝置信號連接，用于根據發生短路的兩條金屬配線在陣列基板上的排列位置，以及所述電壓值與從金屬配線一端到短路點的長度的對應關系，確定在金屬配線上短路發生的坐標位置。

優選地，所述短路測量裝置為電阻測量裝置，包括：兩個測量探針，以及與所述兩個測量探針信號連接的電阻測量儀。