[發明專利]使用濺射裝置的濺射方法

有效

• 申請號: 201210417924.2
• 申請日: 2012-10-26
• 公開（公告）號: CN103088305A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 李在春
• 申請（專利權）人: 海蒂斯技術有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京邦信陽專利商標代理有限公司 11012
• 代理人: 王昭林

1.一種使用濺射裝置的濺射方法，設定從濺射靶材的一側到另一側的整個掃描區間，并使磁體沿著所述整個掃描區間做正向和反向的連續多次往返運動，以掃描所述濺射靶材，其特征在于，包括：

原掃描步驟，以掃描方向為基準從所述濺射靶材的左側端部到右側端部將所述整個掃描區間區劃為n個部分，并設定分別以第p個部分和第n-p+1個部分為開始部分和結尾部分的原掃描區間，并使所述磁體將所述原掃描區間至少往返掃描一次，其中n為等于或大于4的整數，p為等于或大于1且等于或小于n/2的整數；及

變更掃描步驟，在所述原掃描步驟后，設定分別以第q個部分和第n-q+1個部分為開始部分和結尾部分的變更掃描區間，并使所述磁體將所述變更掃描部分至少往返掃描一次，其中q為等于或大于1且等于或小于n/2的整數，并且q≠p，

所述變更掃描步驟至少執行一次。

2.根據權利要求1所述的使用濺射裝置的濺射方法，其特征在于，

在所述變更掃描步驟中，所述q為p-1或p+1。

3.根據權利要求1所述的使用濺射裝置的濺射方法，其特征在于，

當所述變更掃描步驟執行兩次以上時，將多個變更掃描區間的開始部分設定為互不相同。

4.根據權利要求1所述的使用濺射裝置的濺射方法，其特征在于，

將所述n個部分中每個部分的寬度設定為實質上相同。

5.根據權利要求1所述的使用濺射裝置的濺射方法，其特征在于，

將所述n個部分中每個部分的寬度設定為實質上與濺射靶材的寬度相同。

6.一種使用濺射裝置的濺射方法，設定從濺射靶材的一側到另一側的整個掃描區間，使磁體沿著整個掃描區間做正向和反向的連續多次往返運動，以掃描所述濺射靶材，其特征在于，包括以下步驟：

設定被分割為n個部分的所述整個掃描區間，其中n為正整數；

設定將所述整個掃描區間中的至少一部分作為區間的多個正向掃描區間和多個反向掃描區間；

設定分別由多個所述正向掃描區間和多個所述反向掃描區間組成的第一掃描周期和第二掃描周期；

所述第一掃描周期如下：將所述n個部分中的第一個部分和第p個部分分別設定為第一個正向掃描區間的開始部分和結尾部分，將所述n個部分中的第a個部分和第p+a-1個部分分別設定為第a個正向掃描區間的開始部分和結尾部分，以此類推將多個正向掃描區間排列至p+a-1成為n為止，其中，1≤a≤n/2,（n/2）+1≤p<n,a、p為整數，

所述第二掃描周期如下：按所述第一掃描周期中排列的多個正向掃描區間的倒序排列多個正向掃描區間，

在所述第一掃描周期和所述第二掃描周期中構成的多個反向掃描區間分別以前一個正向掃描區間的結尾部分作為開始部分，以后一個正向掃描區間的開始部分作為結尾部分，以使磁體連續移動，

所述第一掃描周期和所述第二掃描周期至少交替排列一次。

7.根據權利要求6所述的使用濺射裝置的濺射方法，其特征在于,

在所述第一掃描周期和所述第二掃描周期交替排列時，進一步排列以先排列掃描周期的最后一個正向掃描區間的結尾部分作為開始部分，以后排列掃描周期的第一個正向掃描區間的開始部分作為結尾部分的反向掃描區間。

8.根據權利要求6所述的使用濺射裝置的濺射方法，其特征在于,

將所述n個部分中每個部分的寬度設定為實質上相同。

9.根據權利要求6所述的使用濺射裝置的濺射方法，其特征在于,

將所述n個部分中每個部分的寬度設定為與濺射靶材的寬度實質上相同。