[發明專利]有機EL器件制造裝置

無效

• 申請號: 201210417798.0
• 申請日: 2012-10-26
• 公開（公告）號: CN103088300A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 圖師庵;龜山大樹;福島真;鄭載勛;李相雨
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H05B33/10;H01L51/56
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強;嚴星鐵

1.一種有機EL器件制造裝置，其具有：

蔭罩，該蔭罩設置在真空處理室內；

基板座，該基板座設置在真空處理室內，包含用于放置基板的基板放置區域的第一面為長方形；

基板密合機構，該基板密合機構使放置在上述基板座上的基板與上述蔭罩之間接近或分離；以及

距離計測機構，該距離計測機構在上述基板座上設置于基板放置區域外的四角，

上述有機EL器件制造裝置的特征在于，

上述距離計測機構具有：

距離計測用空間，該距離計測用空間在上述基板座上設置于基板放置區域外的四角，并設置成貫通上述基板座的第一面和與該第一面相反一側的第二面；

透明玻璃板，該透明玻璃板在上述距離計測用空間中設置于上述基板座的第一面上；以及

距離計測部，該距離計測部在上述距離計測用空間中配置于上述基板座的第二面上，

上述距離計測部具有：

對對象物發射光并接收從該對象物反射來的反射光，以計測與上述對象物之間的距離的距離計；

使上述距離計與真空處理室內的氣氛隔離的距離計箱體；以及

設置在上述距離計箱體的一部分上的透明玻璃窗，

上述距離計接收通過上述透明玻璃窗從上述透明玻璃板反射來的反射光、以及通過上述透明玻璃窗從上述蔭罩反射來的反射光，并根據該接收光的結果來計測上述透明玻璃板與上述蔭罩之間的距離。

2.根據權利要求1所述的有機EL器件制造裝置，其特征在于，

上述距離計箱體內為大氣氣氛，上述距離計被配置在大氣氣氛中。

3.根據權利要求1或2所述的有機EL器件制造裝置，其特征在于，上述距離計是激光位移計。