[發(fā)明專利]壓印裝置、壓印方法、壓印系統(tǒng)和器件制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210414491.5
• 申請日: 2012-10-26
• 公開（公告）號: CN103091977A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 飯村晶子;鈴木章義
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G01N21/956
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 陳新

1.一種壓印裝置，所述壓印裝置使形成在模具上的圖案與提供給基板的壓印材料相接觸以將圖案轉(zhuǎn)印到壓印材料，所述壓印裝置包括：

發(fā)射單元，被配置為發(fā)射用于使發(fā)光材料發(fā)射光的激發(fā)光；

檢測單元，被配置為檢測光；和

模具保持單元，被配置為保持包括所述發(fā)光材料的模具；

其中，在圖案被轉(zhuǎn)印到壓印材料之后，發(fā)射單元向轉(zhuǎn)印到壓印材料的圖案發(fā)射激發(fā)光，并且檢測單元檢測從殘留在壓印材料中的發(fā)光材料發(fā)射的光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其中，所述發(fā)射單元發(fā)射用于在模具與壓印材料相接觸的情況下固化壓印材料的光。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其中，所述檢測單元檢測被形成用于對準(zhǔn)基板的標(biāo)記。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其中，通過將當(dāng)發(fā)射單元向轉(zhuǎn)印到壓印材料的圖案發(fā)射激發(fā)光時檢測單元所檢測到的檢測結(jié)果與當(dāng)模具不具有缺陷并且發(fā)射單元向轉(zhuǎn)印到壓印材料的圖案發(fā)射激發(fā)光時檢測單元所檢測到的參考檢測結(jié)果進(jìn)行比較，來檢測模具的缺陷。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其中，如果檢測單元通過檢測從殘留在壓印材料中的發(fā)光材料發(fā)射的光而檢測到模具的缺陷，則停止圖案的轉(zhuǎn)印。

6.一種壓印裝置，所述壓印裝置使形成在模具上的圖案與提供給基板的壓印材料相接觸以將圖案轉(zhuǎn)印到壓印材料，所述壓印裝置包括：

發(fā)射單元，被配置為發(fā)射第一激發(fā)光和第二激發(fā)光，其中第一激發(fā)光用于使第一發(fā)光材料發(fā)射光，所述第二激發(fā)光用于使第二發(fā)光材料發(fā)射光；

檢測單元，被配置為檢測從第一發(fā)光材料發(fā)射的光和從第二發(fā)光材料發(fā)射的光；和

模具保持單元，被配置為保持包括第一發(fā)光材料的模具；

其中，在圖案被轉(zhuǎn)印到包括第二發(fā)光材料的壓印材料之后，發(fā)射單元向轉(zhuǎn)印到壓印材料的圖案發(fā)射第一激發(fā)光，檢測單元通過檢測從第一發(fā)光材料發(fā)射的光來檢測模具的缺陷，并且發(fā)射單元向轉(zhuǎn)印到壓印材料的圖案發(fā)射第二激發(fā)光，檢測單元通過檢測從第二發(fā)光材料發(fā)射的光來檢測轉(zhuǎn)印到壓印材料的圖案的缺陷。

7.一種壓印方法，所述壓印方法使形成在包括發(fā)光材料的模具上的圖案與提供給基板的壓印材料相接觸以將圖案轉(zhuǎn)印到壓印材料，所述壓印方法包括：

在圖案被轉(zhuǎn)印到壓印材料之后，向轉(zhuǎn)印到壓印材料的圖案發(fā)射用于使所述發(fā)光材料發(fā)射光的激發(fā)光；和

檢測從殘留在壓印材料中的發(fā)光材料發(fā)射的光。

8.一種壓印系統(tǒng)，所述壓印系統(tǒng)將多個壓印裝置連接至檢查裝置以允許共享共同設(shè)施，所述多個壓印裝置使形成在包括發(fā)光材料的模具上的圖案與提供給基板的壓印材料相接觸以將圖案轉(zhuǎn)印到壓印材料，其中所述檢查裝置包括：

發(fā)射單元，被配置為發(fā)射用于使發(fā)光材料發(fā)射光的激發(fā)光；和

檢測單元，被配置為檢測光；

其中，在圖案已被壓印裝置轉(zhuǎn)印到壓印材料的基板被裝入之后，發(fā)射單元向轉(zhuǎn)印到壓印材料的圖案發(fā)射激發(fā)光，并且檢測單元檢測從殘留在壓印材料中的發(fā)光材料發(fā)射的光。

9.一種壓印系統(tǒng)，所述壓印系統(tǒng)連接多個根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的壓印裝置以允許共享共同設(shè)施，其中，如果所述多個壓印裝置中的任何一個通過由檢測單元檢測從殘留在壓印材料中的發(fā)光材料發(fā)射的光來檢測模具的缺陷，則該檢測模具的缺陷的壓印裝置向其它多個壓印裝置所轉(zhuǎn)印的圖案發(fā)射激發(fā)光，并且所述檢測單元檢測從殘留在壓印材料中的發(fā)光材料發(fā)射的光。

10.一種壓印系統(tǒng)，所述壓印系統(tǒng)連接多個根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓印裝置以允許共享共同設(shè)施，其中，如果所述多個壓印裝置中的任何一個通過由檢測單元檢測從殘留在壓印材料中的第一發(fā)光材料發(fā)射的光來檢測模具的缺陷，則該檢測模具的缺陷的壓印裝置向其它多個壓印裝置所轉(zhuǎn)印的圖案發(fā)射激發(fā)光，并且所述檢測單元檢測從第二發(fā)光材料和殘留在壓印材料中的第一發(fā)光材料發(fā)射的光。

11.一種器件制造方法，包括：

使用根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的壓印裝置在基板上形成圖案；和

對通過所述形成步驟在其上形成了圖案的基板進(jìn)行處理。