[發(fā)明專利]柱形凸塊的形成方法及其實(shí)施裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210413947.6
• 申請(qǐng)日: 2012-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN103187315A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃見翎;林勇志;蕭義理;鄭明達(dá);蔡再宗;劉重希;李明機(jī);余振華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/48
• 分類號(hào): H01L21/48
• 代理公司: 北京德恒律治知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;孫征

1.一種裝置，包括：

線軸，被配置成供應(yīng)導(dǎo)線；

切割器件，被配置成在所述導(dǎo)線中形成凹槽；以及

毛細(xì)管，被配置成接合所述導(dǎo)線以形成柱形凸塊，其中，所述裝置被配置成拉動(dòng)所述導(dǎo)線以在所述凹槽處斷開，其中尾部區(qū)附接到所述柱形凸塊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述切割器件設(shè)置在所述線軸和所述毛細(xì)管之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，進(jìn)一步包括兩個(gè)相互鄰近放置的輥?zhàn)樱鰧?dǎo)線被配置成在所述兩個(gè)輥?zhàn)又g穿過，并且所述切割器件被設(shè)置在所述兩個(gè)輥?zhàn)又械囊粋€(gè)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，進(jìn)一步包括設(shè)置在所述毛細(xì)管上方的夾鉗，其中，所述夾鉗被配置成與所述毛細(xì)管同步地相對(duì)于所述導(dǎo)線移動(dòng)，并且所述切割器件附接至所述夾鉗。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述切割器件設(shè)置在所述導(dǎo)線的尖端和所述毛細(xì)管之間，并且被配置成在所述導(dǎo)線的所述尖端和所述毛細(xì)管之間形成所述凹槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述切割器件包括彈性刀片，其中，所述彈性刀片包括到刀片，并且所述彈性刀片被配置成：

響應(yīng)于通過所述毛細(xì)管朝向所述刀片施加的推力，打開所述刀片以允許所述毛細(xì)管和所述導(dǎo)線穿過所述刀片；以及

響應(yīng)于所述毛細(xì)管遠(yuǎn)離所述柱形凸塊的后退運(yùn)動(dòng)，迅速返回以使用所述刀片開槽于所述導(dǎo)線。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述切割器件被配置成在所述切割器件和所述導(dǎo)線之間形成火花。

8.一種裝置，包括：

線軸，被配置成供應(yīng)導(dǎo)線；

毛細(xì)管，被配置成接合所述導(dǎo)線以形成柱形凸塊；

夾鉗，位于所述線軸和所述毛細(xì)管之間，其中，所述夾鉗被配置成與所述毛細(xì)管的上下移動(dòng)同步地進(jìn)行上下移動(dòng)；以及

切割器件，附接至所述夾鉗，其中，所述切割器件被配置成響應(yīng)于所述夾鉗夾在所述導(dǎo)線上來在所述導(dǎo)線中形成凹槽。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中，所述切割器件被配置成在不斷開所述導(dǎo)線的情況下在所述導(dǎo)線中形成凹槽，所述導(dǎo)線中位于所述凹槽相對(duì)側(cè)上的部分連接。

10.一種方法，包括：

在導(dǎo)線中形成凹槽；

將所述導(dǎo)線接合到電連接件并且在所述電連接件上形成柱形凸塊；以及

拉動(dòng)所述導(dǎo)線以在所述凹槽處從所述柱形凸塊斷開所述導(dǎo)線。