[發(fā)明專利]具有故障安全媒質(zhì)密封的傳感器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210409426.3
• 申請日: 2012-10-24
• 公開（公告）號: CN103076135A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: P.羅斯戈;R.瓊斯
• 申請（專利權(quán)）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01L19/00
• 分類號: G01L19/00;G01D11/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬永利;盧江

技術(shù)領(lǐng)域

本公開內(nèi)容大體涉及傳感器，并且更特別涉及在使用期間暴露給媒質(zhì)的傳感器。

背景技術(shù)

如今傳感器一般用來感測諸如溫度、濕度、壓力、流量、導(dǎo)熱性、氣體濃度之類的環(huán)境參數(shù)以及許多其他環(huán)境參數(shù)。這樣的傳感器被用在寬泛的應(yīng)用中，所述應(yīng)用例如包括醫(yī)療應(yīng)用、飛行控制應(yīng)用、工業(yè)過程應(yīng)用、燃燒控制應(yīng)用、天氣監(jiān)視應(yīng)用、水計量應(yīng)用以及許多其他應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容

本公開內(nèi)容大體涉及傳感器，并且更特別涉及在使用期間暴露給媒質(zhì)的傳感器。

一個說明性傳感器組件可以包括壓力傳感器組件。雖然這里把壓力傳感器組件作為示例，但是應(yīng)當(dāng)意識到可以使用在使用期間暴露給媒質(zhì)的任何形式的傳感器。說明性壓力傳感器組件可以具有壓力端口，其放置與要感測的媒質(zhì)流體連通的壓力感測元件。感測元件可以感測媒質(zhì)的施加壓力，并且可以輸出與感測的施加壓力有關(guān)的度量。

壓力傳感器組件可以包括蓋子，其被配置為幫助把感測元件包圍和密封在密封室中。蓋子可以被配置為在感測元件泄漏或變得從壓力端口驅(qū)離由此使密封室暴露給施加壓力和媒質(zhì)的情況下經(jīng)受得住該施加壓力。這可以增強壓力傳感器組件的安全性，特別是當(dāng)媒質(zhì)是有毒的、酸性的、或者以其他方式對于人員和/或周圍設(shè)備而言可能是危險的時更是如此。密封室還可以通過維持系統(tǒng)壓力而幫助增加使用壓力傳感器組件的整個系統(tǒng)的可靠性，即使在使用期間壓力傳感器組件的感測元件顯現(xiàn)出泄漏（例如，爆破）或者變得從壓力端口驅(qū)離的情況下也是如此。

在一些實例中，壓力傳感器組件可以包括基底、固定到基底的傳感器子組件、把傳感器子組件電氣連接到基底的一個或多個線接合、形成在基底上的接合層以及附著于接合層的蓋子，其中蓋子和基底配置為把感測元件和一個或多個線接合包圍和密封在密封室中。基底可以具有從其背側(cè)延伸到其前側(cè)的開口，使得傳感器子組件的壓力端口的支架可以延伸到基底的該開口中。傳感器子組件還可以包括固定到壓力端口的感測元件，其中感測元件可以與從壓力傳感器組件的壓力輸入端口延伸，通過支架到感測元件的壓力端口管道流體連通。該組件的線接合可以把感測元件的一個或多個電氣端子電氣連接到基底前側(cè)上的一個或多個線接合焊盤。此外，接合層可以圍繞所述感測元件和所述一個或多個線接合焊盤的周界形成在所述基底的前側(cè)上。

蓋子可以相對于基底來附著，并且蓋子可以與基底形成連續(xù)密封，其中該連續(xù)密封可以在傳感器元件的周圍完全延伸。蓋子可以密封到基底以形成把感測元件包圍在其中的密封室。所述密封室可以配置為例如在達(dá)到所述感測元件的爆破壓力并且媒質(zhì)爆破通過所述感測元件且進入所述密封室的情況下容納泄漏的媒質(zhì)。蓋子可以配置為在感測元件在使用中形成泄漏（例如，爆破）或變得從壓力端口驅(qū)離的情況下經(jīng)受得住施加到該感測元件的預(yù)定施加壓力。

在一些實例中，并且盡管不要求，可以不把用于感測元件的補償電路包括在密封室內(nèi)。這可以幫助減小蓋子（和密封室）的大小，這可以在感測元件泄漏（例如，爆破）或變得從壓力端口驅(qū)離的情況下幫助增加蓋子可以經(jīng)受得住的應(yīng)用壓力。

提供了前述概要以便利對對于本公開內(nèi)容而言獨有的創(chuàng)造性特征中的一些特征的理解，并且不意圖是全面說明。通過把整個說明書、權(quán)利要求書、附圖和摘要作為整體，可以獲得對本公開內(nèi)容的全面理解。

附圖說明

鑒于結(jié)合附圖對本公開內(nèi)容的各種說明性實施例的以下說明，可以更完全地理解本公開內(nèi)容，在附圖中：

圖1是包括蓋子的說明性壓力傳感器組件的示意性剖視圖；

圖2是蓋子被移除的圖1的說明性壓力傳感器組件的示意性俯視圖；

圖3是說明性應(yīng)用中的說明性壓力傳感器組件的示意性剖視圖；

圖4A是圖1的說明性壓力傳感器組件的一部分的放大示意性視圖，其示出了蓋子和基底之間的連接；

圖4B是說明性壓力傳感器組件的一部分的放大示意性視圖，其示出了蓋子和基底之間的連接；以及

圖4C是說明性壓力傳感器組件的一部分的放大示意性視圖，其示出了蓋子和基底之間的另一連接。

雖然本公開內(nèi)容順從于各種修改和替代形式，但是在附圖中借助示例已經(jīng)示出了其細(xì)節(jié)，并且將詳細(xì)描述其細(xì)節(jié)。然而，應(yīng)當(dāng)理解，目的不是把本公開內(nèi)容的各方面局限于本文所描述的特定說明性實施例。相反，目的是覆蓋落入本公開內(nèi)容的精神和范圍內(nèi)的所有修改、等同物以及代替體。

具體實施方式