[發明專利]具有故障安全媒質密封的傳感器

無效

• 申請號: 201210409426.3
• 申請日: 2012-10-24
• 公開（公告）號: CN103076135A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: P.羅斯戈;R.瓊斯
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01L19/00
• 分類號: G01L19/00;G01D11/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬永利;盧江

1.一種壓力傳感器組件，其具有用于接收施加施加壓力的媒質的壓力輸入端口，所述壓力傳感器組件包括：

基底，其具有前側和背側；

具有爆破壓力的傳感器元件，所述傳感器元件具有連接到所述基底的前側上的一個或多個線接合焊盤的一個或多個電氣端子，以及其中所述傳感器元件通過延伸到所述基底背側外的壓力端口管道而暴露給所述施加壓力；

相對于所述基底附著的蓋子，所述蓋子和基底配置為把所述感測元件包圍和密封在密封室中；以及

其中所述蓋子和所述基底配置為如果在所述施加壓力超過引起所述傳感器元件爆破的爆破壓力的情況下所述媒質進入所述密封室，則把所述媒質容納在所述密封室中。

2.如權利要求1所述的壓力傳感器組件，其中所述蓋子配置為由魯棒材料制成并且剛性附著于所述基底，以便在所述感測元件形成泄漏的情況下經受得住施加到所述感測元件的施加壓力。

3.如權利要求2所述的壓力傳感器組件，其中所述施加壓力大于5000psi。

4.如權利要求1所述的壓力傳感器組件，還包括：

接合層，其圍繞所述感測元件和所述一個或多個線接合焊盤的周界形成在所述基底的前側上；以及

其中所述接合層是金屬的，并且其中所述蓋子的接觸側接觸所述接合層且使用剛性連接密封到所述接合層。

5.如權利要求4所述的壓力傳感器組件，其中：

所述蓋子是從金屬板沖壓的金屬蓋；

所述蓋子包括頂部、端部張開的環以及延伸在所述頂部和所述端部張開的環之間的側壁；

所述端部張開的環附著到所述基底的接合層；以及

所述剛性連接是焊縫連接和焊料連接之一。

6.如權利要求1所述的壓力傳感器組件，還包括配置為便利所述蓋子和所述基底之間的密封的O形環。

7.如權利要求1所述的壓力傳感器組件，還包括：

壓力端口，其在壓力端口-基底交接部處固定到所述感測元件和所述基底的背部，所述壓力端口具有延伸到所述基底的開口中的支架，所述開口從所述基底的前側延伸到所述基底的背側，所述壓力端口還包括所述壓力端口管道；以及

其中所述壓力端口管道從所述壓力傳感器組件的壓力輸入端口延伸，通過所述支架，并且到所述感測元件；

其中所述支架把所述感測元件安置為鄰近所述基底的前側；和

其中所述基底除了所述壓力端口的支架延伸通過的開口之外不包括至所述密封室中的任何其他開口。

8.如權利要求8所述的壓力傳感器組件，其中，所述壓力端口的支架延伸所針對的所述基底中的開口由所述壓力端口-基底交接部密封。

9.如權利要求9所述的壓力傳感器組件，其中，所述壓力端口-基底交接部包括焊料交接部、焊縫交接部和粘合劑交接部之一。

10.一種防止壓力傳感器中的流體泄漏的方法，所述方法包括：

相對于基底附著感測元件，其中所述感測元件包括通過延伸通過所述基底中的開口的壓力管道而暴露給施加壓力的隔板；和

把所述感測元件密封在密封室內，所述密封步驟包括把蓋子附著到所述基底，使得所述蓋子在如果所述壓力管道和所述密封室之間發生泄漏而引起的所述密封室變得暴露給所述施加壓力的情況下不與所述基底分離；以及

其中所述密封室配置為在達到所述感測元件的爆破壓力并且流體爆破通過所述感測元件且進入所述密封室的情況下容納泄漏的流體。