[發(fā)明專利]脆性材料基板的分?jǐn)喾椒胺謹(jǐn)嘌b置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210405543.2 | 申請日: | 2012-10-23 |
| 公開(公告)號: | CN103128863A | 公開(公告)日: | 2013-06-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 前川 和哉 | 申請(專利權(quán))人: | 三星鉆石工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號: | B28D1/32 | 分類號: | B28D1/32 |
| 代理公司: | 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人: | 沈錦華 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 脆性 材料 方法 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種分?jǐn)啻嘈圆牧匣宓拇嘈圆牧匣宓姆謹(jǐn)喾椒胺謹(jǐn)嘌b置。
背景技術(shù)
在以往的玻璃板等的脆性材料基板、例如液晶顯示器用面板基板等的平板顯示器(FPD,F(xiàn)lat?Panel?Display)的制造中,是將一塊母基板分?jǐn)喽〕龆鄠€面板基板。在分?jǐn)啻嘈圆牧匣鍟r,以使母基板成為特定大小的單個面板的方式,由劃線步驟而形成劃線。在劃線步驟中,例如利用專利文獻(xiàn)1所揭示的劃線裝置使劃線輪旋轉(zhuǎn)自如地保持在劃線頭的下端,且使劃線輪壓接在脆性材料基板上并滾動而執(zhí)行劃線。在之后的斷開步驟中,例如利用專利文獻(xiàn)2所揭示的斷開裝置沿著劃線而斷開脆性材料基板。
于此,作為用于劃線裝置的劃線輪,為了可形成伴有朝脆性材料基板的厚度方向較深擴(kuò)展的龜裂的劃線,已知專利文獻(xiàn)3所記載的高滲透型的劃線輪。
背景技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本專利特開平2000-119030號公報
專利文獻(xiàn)2:日本專利特開平2004-131341號公報
專利文獻(xiàn)3:日本專利第3074143號公報
發(fā)明內(nèi)容
然而,這種以往的分?jǐn)喾椒ㄖ校鑴澗€裝置與斷開裝置,且制造步驟也復(fù)雜,故而存在如下問題:需要較廣的作業(yè)場所,而且制造所需的時間也較長。
本發(fā)明是著眼于這種以往技術(shù)的問題點(diǎn)而完成,目的在于通過一次操作而形成伴有到達(dá)基板背面的垂直龜裂的劃線,從而以一道步驟同時進(jìn)行劃線與斷開的方式而可完成基板的分?jǐn)唷?/p>
為解決此問題,本發(fā)明的脆性材料基板的分?jǐn)喾椒ㄊ褂醚刂鴮⑼庵茉O(shè)為V字形狀的圓板形刃尖的圓周,以特定間距形成著特定深度的槽的劃線輪來分?jǐn)啻嘈圆牧匣澹覠o需斷開步驟而通過如下步驟進(jìn)行分?jǐn)?也稱為全切):輸入關(guān)于要分?jǐn)嗟拇嘈圆牧匣宓男畔?例如,脆性材料基板的厚度、種類等);選擇與關(guān)于所述脆性材料基板的信息對應(yīng)的劃線輪;將所述選擇的劃線輪保持在劃線頭的前端;使所述劃線輪相對于載物臺上的脆性材料基板下降,利用與關(guān)于所述脆性材料基板的信息對應(yīng)而選擇的劃線負(fù)荷,將所述劃線輪按壓至所述脆性材料基板的表面,于此狀態(tài)下使所述劃線頭及脆性材料基板進(jìn)行相對移動;及在所述脆性材料基板上形成伴有到達(dá)背面的垂直龜裂的劃線。
為解決此問題,本發(fā)明的脆性材料基板的分?jǐn)嘌b置使用沿著將外周設(shè)為V字形狀的圓板形刃尖的圓周,以特定間距形成著特定深度的槽的劃線輪來分?jǐn)啻嘈圆牧匣澹以摲謹(jǐn)嘌b置包括:基板支撐機(jī)構(gòu),支撐所述脆性材料基板;劃線頭,升降自如地設(shè)為與所述基板支撐機(jī)構(gòu)上支撐的脆性材料基板對向,且其前端保持著基于關(guān)于要分?jǐn)嗟乃龃嘈圆牧匣宓男畔⒍x擇的所述劃線輪;移動機(jī)構(gòu),在將所述劃線輪按壓至脆性材料基板的表面的狀態(tài)下,使所述劃線頭及所述脆性材料基板進(jìn)行相對移動;以及控制器,包含:輸入部,輸入關(guān)于所述脆性材料基板的信息或劃線的數(shù)據(jù);數(shù)據(jù)保持部,保持著與關(guān)于所述脆性材料基板的信息對應(yīng)的劃線負(fù)荷的數(shù)據(jù);及控制部,根據(jù)輸入至所述輸入部中的關(guān)于所述脆性材料基板的信息及保持在所述數(shù)據(jù)保持部中的所述劃線負(fù)荷的數(shù)據(jù)而選擇劃線負(fù)荷,驅(qū)動所述劃線頭及所述移動機(jī)構(gòu)而形成伴有到達(dá)所述脆性材料基板的背面的垂直龜裂的劃線。
于此,關(guān)于所述脆性材料基板的信息也可以是關(guān)于脆性材料基板的厚度的信息。
于此,關(guān)于所述脆性材料基板的信息也可以是關(guān)于脆性材料基板的種類及厚度的信息。
于此,所述脆性材料基板也可以設(shè)為無堿玻璃基板。
于此,也可以隨著脆性材料基板的厚度變厚,使所述選擇的劃線輪的刃尖角度變大,且朝軸芯方向的槽的深度變大。
于此,對于所述劃線負(fù)荷來說,也可以隨著所述脆性材料基板的厚度變厚而使劃線負(fù)荷變大。
于此,關(guān)于所述脆性材料基板的信息也可以記錄在所述劃線輪及保持劃線輪的支架的任一個中。
根據(jù)具有這種特征的本發(fā)明,對應(yīng)于脆性材料基板的厚度、種類等的關(guān)于脆性材料基板的信息而選擇劃線輪,且使用該劃線輪進(jìn)行劃線。此時可進(jìn)行全切而無需斷開步驟,因此能獲得可簡化作業(yè)步驟的優(yōu)異效果。
附圖說明
圖1是表示執(zhí)行本發(fā)明的實(shí)施方式的分?jǐn)喾椒ǖ姆謹(jǐn)嘌b置的立體圖。
圖2是表示該分?jǐn)嘌b置的控制器的框圖。
圖3是表示本實(shí)施方式的分?jǐn)喾椒ǖ膭幼鞯牧鞒虉D。
[符號的說明]
100?????分?jǐn)嘌b置
101?????移動臺
102a????導(dǎo)軌
102b????導(dǎo)軌
103?????滾珠螺桿
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