[發明專利]發光顯示裝置及其制造方法有效
| 申請號: | 201210402917.5 | 申請日: | 2007-06-07 |
| 公開(公告)號: | CN102903734A | 公開(公告)日: | 2013-01-30 |
| 發明(設計)人: | 藤岡弘文;小澤信夫 | 申請(專利權)人: | 索尼株式會社 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L51/52 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 焦玉恒 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 發光 顯示裝置 及其 制造 方法 | ||
本申請是申請號為200780030831.1(國際申請號:PCT/JP2007/061511)、申請日為2007年6月7日、發明名稱為“發光顯示裝置及其制造方法”的發明專利申請的分案申請。
技術領域
本發明涉及一種頂發射系統的發光顯示器及這種發光顯示器的制造方法。
背景技術
近年來,作為平板顯示器的一種,通過使用有機EL(電致發光,Electroluminescence)現象來顯示圖像的有機EL顯示器已經受到了關注。有機EL顯示器利用了有機發光器件的光發射現象,所以有機EL顯示器具有優良的特性,例如寬的視角和低的功率消耗。此外,有機EL顯示器對于高分辨率、高速的視頻信號具有高的響應度,所以有機EL顯示器已經朝向實際應用發展,尤其在視頻領域等中。
作為有機EL顯示器中的驅動系統,使用薄膜晶體管(TFT)作為驅動元件的有源矩陣系統相比于無源矩陣系統在響應度和分辨率方面的性能優良,并且在具有上述特性的有機EL顯示器中,有源矩陣系統尤其被認為是合適的驅動系統。有源矩陣型有機EL顯示器包括驅動面板,在該驅動面板中布置了包括有機發光層的有機EL元件和驅動有機EL顯示器元件的驅動元件(上述薄膜晶體管);并且該有源矩陣型有機EL顯示器具有這樣的構造,其中驅動面板和密封面板通過粘結層結合在一起,使得有機EL元件夾在驅動面板和密封面板之間。此外,有機EL元件具有這樣的構造,其中有機發光層形成在成對的電極之間。
底發射系統的有機EL顯示器將光從每個有機EL元件發射至上述驅動面板側;而頂發射系統的有機EL顯示器將光發射至相反的方向,也就是上述密封面板側;然而,后者是發展的主流,因為后者可以提高開口率。
這里,在頂發射系統的有機EL顯示器中,光取出側,也就是密封面板側的電極是每個有機EL元件的公共電極,并且舉例來說,由諸如ITO(氧化銦錫)的透光導電材料制成。然而,這樣的透光導電材料具有比典型的金屬材料高幾個數量級的電阻率。因此,施加至光取出側電極的電壓在平面內變得不均勻,所以就有了在有機EL元件中發生光發射亮度位置變化以及顯示質量下降的問題。
因此,例如,專利文件1披露了這樣的技術,其中連接至光取出側電極的輔助配線由與驅動面板側電極在相同層內的驅動側電極相同的材料形成。
[專利文件1]日本未審查專利申請公開No.2002-318556
發明內容
人們認為當輔助配線由具有比光取出側電極的電阻率低的電阻率的材料形成并以這樣的方式連接至光取出側電極時,上述電極電壓的面內不均勻性就可以降低到一定程度。
然而,在上述專利文件1的技術中,舉例來說,在鋁(Al)或者Al合金用作驅動面板側電極的表面的情形下,當輔助配線由與電極相同的材料形成時,輔助配線的表面容易被氧化。當表面被氧化時,輔助配線和光取出側電極間的連接電阻增加,從而在這部分中引起較大的電壓降。因此,電壓降的增加導致了顯示器功率消耗的增加。
因此,在傳統的技術中,難以不考慮輔助配線的構造而來防止功率消耗的增加,并且難以通過獲得光取出側電極電壓的面內均勻性而來改善顯示的質量。
鑒于前述內容,本發明的目標是提供一種發光顯示器,能夠保持低的功率消耗并改善顯示質量而不管輔助配線的構造,并提供一種制造該發光顯示器的方法。
根據本發明的發光顯示器,包括多個驅動元件和電連接至驅動元件的配線部分,該發光顯示器包括:多個第一電極,分別對應于驅動元件而形成在驅動元件和配線部分上;多個發光部分,分別形成在第一電極上;公共第二電極,由允許來自發光部分的光穿過的材料形成并布置在多個發光部分上;輔助配線部分,具有比第二電極的電阻低的電阻;和導電接觸部分,電連接在第二電極和輔助配線部分之間。
在根據本發明的發光顯示器中,第二電極和輔助配線通過導電接觸部分而彼此電連接,所以即使輔助配線的表面被氧化,也可以防止連接電阻的增加。
根據本發明的發光顯示器的制造方法,包括:在基板上形成多個驅動元件和配線部分并在多個驅動元件和配線部分之間進行電連接的步驟;在驅動元件和配線部分上形成第一導電層的步驟;通過圖案化第一導電層而形成輔助配線部分以及分別對應于多個驅動元件的多個第一電極的步驟;在每個第一電極上形成發光部分的步驟;在多個發光部分上由允許來自每個發光部分的光穿過的材料形成公共第二電極的步驟;形成導電接觸部分并通過接觸部分而在第二電極和輔助配線部分之間進行電連接的步驟,其中輔助配線部分由具有比第二電極的電阻低的電阻的材料形成。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





