[發明專利]用于半導體設備制造裝備的延伸主機設計

有效

• 申請號: 201210396242.8
• 申請日: 2006-12-20
• 公開（公告）號: CN103021908A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: M·R·賴斯
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

1.一種的主機，包括：

側壁，界定適于容設機械臂的中心傳送區；

數個面，形成于該側壁上，各適于耦接至處理室；以及

間距物，耦接到所述面的至少一個，該間距物適于讓該主機能耦接到至少四個全尺寸處理室，并同時提供對該主機進行維護的進出口。

2.如權利要求1所述的主機，其中該間距物適于將負載鎖定室耦接至該主機。

3.如權利要求1所述的主機，其中該間距物適于將通過室耦接至該主機。

4.如權利要求1所述的主機，其中該間距物適于讓該主機能耦接到至少四個全尺寸處理室，并同時提供對該主機進行維護的進出口。

5.如權利要求1所述的主機，包括通過室，具有耦接至該通過室的第一間距物和第二間距物。

6.如權利要求1所述的主機，包括：

第一間距物，位于所述數個面中的第一面和第一負載鎖定室之間；以及

第二間距物，位于所述數個面中的第二面和第二負載鎖定室之間，以形成處理室和工廠接口之間的額外空間。

7.如權利要求1所述的主機，其中該間距物通過耦接于負載鎖定室和工廠接口之間而耦接至數個面中的第一面。

8.如權利要求1所述的主機，包括：

第一間距物，通過耦接于第一負載鎖定室和工廠接口之間而耦接至所述數個面中的第一面；以及

第二間距物，通過耦接于第二負載鎖定室和所述工廠接口之間而耦接至所述數個面中的第二面。

9.一種半導體設備制造裝置，包括：

工廠接口；

主機，具有界定適于容設機械臂的中心傳送區的側壁，以及形成于該側壁上的數個面，各適于耦接至處理室，所述數個面中的單一面延伸向所述工廠接口；

單一負載鎖定室，由所述主機使用，并耦接于所述主機和所述工廠接口之間；以及

間距物，位于所述數個面中的面和所述單一負載鎖定室之間或者位于所述負載鎖定室和所述工廠接口之間。

10.一種用于在半導體設備制造期間所用的主機，包括：

側壁，界定出適于容設機械臂的中心傳送區；

數個面，形成在該側壁上，各適于耦接至處理室，所述數個面中的至少一個包括延伸面；以及

間距物，耦接至所述至少一個面，所述間距物適于耦接至負載鎖定室和通過室中的一個并允許所述主機耦接至至少四個全尺寸處理室同時提供對該主機進行維護的進出口。

11.一種用于在半導體設備制造期間所用的主機，包括：

側壁，界定出適于容設機械臂的中心傳送區；

數個面，形成在該側壁上，各適于耦接至處理室，所述數個面中的至少一個包括延伸面；以及

間距物，耦接至所述至少一個面，所述間距物適于耦接至負載鎖定室和通過室中的一個并允許所述主機耦接至至少四個全尺寸處理室同時提供對該主機進行維護的進出口，且其中所述延伸面的長度大于所述不延伸的數個面。