[發明專利]一種應用化學氣相沉積技術的納米電熱板及其制造方法

無效

• 申請號: 201210395154.6
• 申請日: 2012-10-17
• 公開（公告）號: CN103781209A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 張樹華;黃金娣
• 申請（專利權）人: 廣東四會互感器廠有限公司
• 主分類號: H05B3/12
• 分類號: H05B3/12;H05B3/22;C23C16/448
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• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種應用化學氣相沉積技術的納米電熱板及其制造方法，屬于P或N型半導體發熱技術范疇。?

背景技術

納米電熱板作為一種面電阻發熱元件，其電熱轉換效率高達95％以上，加熱速度快，受熱均勻，同時具有遠紅外輻射加熱功能。以公開號為CN1529534A的發明專利公開了一種電熱膜及其制造方法，該電熱膜處理液配比(質量百分比)為：A：四氯化錫，40～50；B：三氯化鈦，30～40；C：三氯化銻，0.1～0.3；D：二氯化鈣，0.1～0.3；E：異丙醇，2～3；F：乙醇，10～13；G：純水，2～5。其不足之處是最高工作溫度僅僅為450℃，應用范圍相對比較狹窄，且這種電熱膜制造過程中需要多次重復噴入電熱膜處理液，工程繁瑣、常溫電阻大、效率低。?

發明內容

本發明所需要解決的技術問題是：針對現有電熱板及其制造過程存在的問題，提供一種工作效率高、受熱均勻、升溫快而高、應用廣泛的納米電熱板，其工藝簡單、操作方便、使用安全、成本低。?

為了解決上述技術問題，本發明是通過以下的技術方案實現的。?

本發明電熱納米膜溶液配方按重量百分比為：?

A：四氯化錫????????????5.5～17?

B：四氯化鈦????????????2.2～8.9?

C：三氯化鈦????????????2.2～8.9?

D：三氯化鐵????????????22～50?

E：三氯化銻????????????0.55～0.9?

F：二氯化鈣????????????0.55～0.9?

G：氯化鉀??????????????1～4.5?

H：氯化鎘??????????????2.2～8.9?

I：二氧化錫????????????3.2～11?

J：氫氟酸??????????????3.2～8.9?

K：硼酸????????????????0.2～1.1?

L：乙醇????????????????5.5～17?

M：異丙醇??????????????4.3～8.9?

N：純水????????????????22～50?

按重量百分比量取上述原料攪拌加熱，制成電熱納米膜溶液，應用化學氣相沉積技術將溶液負壓噴霧在納米電熱板表面，然后在納米電熱板半成品的任意兩對邊距離邊緣15mm的位置表面涂上氧化銀漿，送入電極加熱爐經300～550℃燒結，使氧化銀漿完全還原成銀電極與電熱納米膜層熔合一體即成為納米電熱板成品。?

上述納米電熱板的制造方法如下：?

1.電熱納米膜溶液的制造：?

按重量百分比量取四氯化錫、四氯化鈦、三氯化鈦、三氯化鐵、三氯化銻、二氯化鈣、氯化鉀、氯化鎘、二氧化錫、氫氟酸、硼酸、乙醇、異丙醇和純水放入混合加熱機的容器里攪拌加熱到60～80℃，且攪拌均勻，使溶質完全溶解于溶劑中，然后在一定條件下使之冷卻到-2～0℃，經過濾便得到?電熱納米膜溶液。?

2.納米電熱板半成品的制造：?

在加熱爐內加熱使爐溫升至為500～850℃，納米電熱板放進爐內加熱，應用化學氣相沉積技術將溶液噴霧在納米電熱板表面使之形成一層P或N型多晶態半導體薄膜，此時納米電熱板半成品就制造出來了。?

3.納米電熱板成品的制造：?

在上述納米電熱板的半成品的任意兩對邊距離邊緣15mm的位置表面涂上氧化銀漿，送入電極加熱爐經300～550℃燒結，使氧化銀漿完全還原成銀電極與電熱納米膜層熔合一體即成為納米電熱板成品，該層狀銀電極的厚度很薄，其單位為微米量級，寬約為10mm。?

本發明納米電熱板為普通玻璃、普通陶瓷、搪瓷、云母、石英玻璃、微晶玻璃、微晶陶瓷或碳化硅，其選擇豐富多樣。?

本發明所述化學氣相沉積技術是在負壓情況下將電熱納米膜溶液一次性噴霧到納米電熱板表面，電熱納米膜溶液在高溫條件下完全汽化并發生化學反應，產生化學氣相沉積現象，在納米電熱板表面沉積產生晶粒形成一層P或N型多晶態半導體薄膜。?