[發明專利]一種應用化學氣相沉積技術的納米電熱板及其制造方法

無效

• 申請號: 201210395154.6
• 申請日: 2012-10-17
• 公開（公告）號: CN103781209A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 張樹華;黃金娣
• 申請（專利權）人: 廣東四會互感器廠有限公司
• 主分類號: H05B3/12
• 分類號: H05B3/12;H05B3/22;C23C16/448
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種應用化學氣相沉積技術的納米電熱板及其制造方法，所述的電熱納米膜溶液配方按重量百分比為：?

A：四氯化錫????????5.5～17?

B：四氯化鈦????????2.2～8.9?

C：三氯化鈦????????2.2～8.9?

D：三氯化鐵????????22～50?

E：三氯化銻????????0.55～0.9?

F：二氯化鈣????????0.55～0.9?

G：氯化鉀??????????1～4.5?

H：氯化鎘??????????2.2～8.9?

I：二氧化錫????????3.2～11?

J：氫氟酸??????????3.2～8.9?

K：硼酸????????????0.2～1.1?

L：乙醇????????????5.5～17?

M：異丙醇??????????4.3～8.9?

N：純水????????????22～50。?

2.根據權利要求1所述納米電熱板制造的步驟為：?

1)電熱納米膜溶液的制造：?

按重量百分比量取四氯化錫、四氯化鈦、三氯化鈦、三氯化鐵、三氯化銻、二氯化鈣、氯化鉀、氯化鎘、二氧化錫、氫氟酸、硼酸、乙醇、異丙醇和純水放入混合加熱機的容器里攪拌加熱到60～80℃，且攪拌均勻，使溶質完全溶解于溶劑中，然后在一定條件下使之冷卻到-2～0℃，經過濾便得到電熱納米膜溶液；?

2)納米電熱板半成品的制造：?

在加熱爐內加熱使爐溫升至為500～850℃，納米電熱板放進爐內加熱，運用化學氣相沉積技術將溶液噴霧在納米電熱板表面使之形成一層P或N型多晶態半導體薄膜，此時納米電熱板半成品就制造出來了；?

3)納米電熱板成品的制造：?

在步驟1)的納米電熱板半成品的任意兩對邊距離邊緣15mm的位置表面涂上氧化銀漿并送入電極加熱爐經300～550℃燒結，使氧化銀漿完全還原成銀電極與電熱納米膜層熔合一體即成為納米電熱板成品，該層狀銀電極的厚度很薄，其單位為微米量級，寬約為10mm。?

3.根據權利要求2所述納米電熱板的制造方法，其特征在于：所述的化學氣相沉積技術是在負壓情況下將電熱納米膜溶液一次性噴霧到納米電熱板表面，電熱納米膜溶液在高溫條件下完全汽化并發生化學反應，產生化學氣相沉積現象，在納米電熱板表面沉積產生晶粒形成P或N型多晶態半導體薄膜。?