[發明專利]一種生產使用過程中化學品自動供給的管路系統

有效

• 申請號: 201210393826.X
• 申請日: 2012-10-16
• 公開（公告）號: CN103727389A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 汪明波
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: F17D1/08
• 分類號: F17D1/08;F17D3/01
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本發明屬于生產使用的過程中液體供給系統領域，具體地說是一種生產使用過程中化學品自動供給的管路系統。

背景技術

目前，多數半導體設備，在液體供給過程中除了工廠自動化供應外，還需很多的手動供應液，而這些供應液有很多是有毒或是易揮發的液體，有的液體會頻繁供給，這樣就會給操作者帶來很多不必要的麻煩。

發明內容

針對上述問題，本發明的目的在于提供一種生產使用過程中化學品自動供給的管路系統。該管路系統保證設備生產的連續性以及危險化學品非人工自動供給的安全性。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，包括控制系統、補液桶H、供液罐G、控制閥體、電磁閥、產生負壓的管路系統、上位液壓傳感器C₁及下位液壓傳感器C₂，其中供液罐G上設有液體進、出口和氣體進、出口，所述液體進、出口和氣體進、出口分別通過獨立的所述控制閥體控制其開、關，所述各控制閥體分別與獨立的所述電磁閥連接、并由各電磁閥分別控制；所述供液罐G上的液體進口和液體出口分別通過液體管路與補液桶H和設備連接，所述供液罐G上的氣體進口和氣體出口分別通過氣體管路與氮氣源和產生負壓的管路系統連接，所述上位液壓傳感器C₁和下位液壓傳感器C₂分別設置于供液罐G的上部和下部，所述上位液壓傳感器C₁、下位液壓傳感器C₂及各電磁閥均與所述控制系統連接。

所述產生負壓的管路系統包括控制閥體Y₄、控制閥體Y₅及負壓真空發生器Z，其中負壓真空發生器Z的端部進氣口通過氣體管路與壓縮氣體源連接，所述負壓真空發生器Z的側壁通過氣體管路與供液罐G的氣體出口連接，所述負壓真空發生器Z的端部進氣口與壓縮氣體源及負壓真空發生器Z的側壁與供液罐G的氣體出口之間分別設有控制閥體Y₄和控制閥體Y₅，所述控制閥體Y₄和控制閥體Y₅分別與電磁閥D₄和電磁閥D₅連接、并分別由電磁閥D₄和電磁閥D₅控制。

所述壓縮氣體源供給的壓縮氣體通過負壓真空發生器Z排出時，使供液罐G內的氣體通過控制閥體Y₅被排出供液罐G的罐體外部。

所述供液罐G的排氣管路上設有由電磁閥D₆控制的控制閥體Y₆，所述控制閥體Y₆與產生負壓的管路系統并聯設置。所述供液罐G的氣體進、出口并聯設置，所述氣體進、出口通過共同的氣體管路與供液罐G連通。

所述控制閥體為氣動控制閥體，與氣動控制閥體連接的所述電磁閥與氣源連接。所述電磁閥與氣源之間設有壓縮空氣調壓閥T和壓力顯示表。所述供液罐G為密閉容器。

本發明的優點及有益效果是：

1.本發明供液罐內部產生的負壓不是靠外部真空管路提供的，而是靠自身的氣體流動產生的負壓，節省了真空供應能源。

2.本發明為自動供給，避免人員操作帶來的危險性。

3.本發明操作簡單，避免人為誤操作，保障設備的連續運轉，節省人力。

附圖說明

圖1為本發明的管路示意圖；

圖2為本發明產生負壓的局部管路示意圖；

其中：1為電磁閥D₁，2為電磁閥D₂，3為電磁閥D₃，4為電磁閥D₆，5為電磁閥D₅，6為電磁閥D₄，7為控制閥體Y₆，8為控制閥體Y₅，9為控制閥體Y₄，10為控制閥體Y₃，11為控制閥體Y₂，12為控制閥體Y₁，13為壓縮空氣調壓閥T，14為壓力顯示表A，15為負壓真空發生器Z，16為供液罐G，17為上位液壓傳感器C₁，18為下位液壓傳感器C₂，19為藥液桶H。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步的描述。