[發明專利]一種生產使用過程中化學品自動供給的管路系統

有效

• 申請號: 201210393826.X
• 申請日: 2012-10-16
• 公開（公告）號: CN103727389A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 汪明波
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: F17D1/08
• 分類號: F17D1/08;F17D3/01
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，包括控制系統，其特征在于：還包括補液桶H(19)、供液罐G(16)、控制閥體、電磁閥、產生負壓的管路系統、上位液壓傳感器C₁(17)及下位液壓傳感器C₂(18)，其中供液罐G(16)上設有液體進、出口和氣體進、出口，所述液體進、出口和氣體進、出口分別通過獨立的所述控制閥體控制其開、關，所述各控制閥體分別與獨立的所述電磁閥連接、并由各電磁閥分別控制；所述供液罐G(16)上的液體進口和液體出口分別通過液體管路與補液桶H(19)和設備連接，所述供液罐G(16)上的氣體進口和氣體出口分別通過氣體管路與氮氣源和產生負壓的管路系統連接，所述上位液壓傳感器C₁(17)和下位液壓傳感器C₂(18)分別設置于供液罐G(16)的上部和下部，所述上位液壓傳感器C₁(17)、下位液壓傳感器C₂(18)及各電磁閥均與所述控制系統連接。

2.按權利要求1所述生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，其特征在于：所述產生負壓的管路系統包括控制閥體Y₄(9)、控制閥體Y₅(8)及負壓真空發生器Z(15)，其中負壓真空發生器Z(15)的端部進氣口通過氣體管路與壓縮氣體源連接，所述負壓真空發生器Z(15)的側壁通過氣體管路與供液罐G(16)的氣體出口連接，所述負壓真空發生器Z(15)的端部進氣口與壓縮氣體源及負壓真空發生器Z(15)的側壁與供液罐G(16)的氣體出口之間分別設有控制閥體Y₄(9)和控制閥體Y₅(8)，所述控制閥體Y₄(9)和控制閥體Y₅(8)分別與電磁閥D₄(6)和電磁閥D₅(5)連接、并分別由電磁閥D₄(6)和電磁閥D₅(5)控制。

3.按權利要求1所述生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，其特征在于：所述壓縮氣體源供給的壓縮氣體通過負壓真空發生器Z(15)排出時，使供液罐G(16)內的氣體通過控制閥體Y₅(8)被排出供液罐G(16)的罐體外部。

4.按權利要求1所述生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，其特征在于：所述供液罐G(16)的排氣管路上設有由電磁閥D₆(4)控制的控制閥體Y₆(7)，所述控制閥體Y₆(7)與產生負壓的管路系統并聯設置。

5.按權利要求1所述生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，其特征在于：所述供液罐G(16)的氣體進、出口并聯設置，所述氣體進、出口通過共同的氣體管路與供液罐G(16)連通。

6.按權利要求1所述生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，其特征在于：所述控制閥體為氣動控制閥體，與氣動控制閥體連接的所述電磁閥與氣源連接。

7.按權利要求6所述生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，其特征在于：所述電磁閥與氣源之間設有壓縮空氣調壓閥T(13)和壓力顯示表(14)。

8.按權利要求1所述生產使用過程中化學品自動供給的管路系統，其特征在于：所述供液罐G(16)為密閉容器。