[發明專利]去光阻液回收系統

無效

• 申請號: 201210393186.2
• 申請日: 2012-10-16
• 公開（公告）號: CN103728846A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 孟文雄;許譽騰
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 馬佑平;王立民

技術領域

本發明有關于一種去光阻液回收系統，特別是一種能自動排出廢渣的去光阻液回收系統。

背景技術

在半導體或液晶面板等的制造制程中，會利用在基板上涂布光阻液而曝光顯影的微影技術。而在曝光顯影后欲進行下個制程前，又必需要將光阻去除，此時就必需再使用去光阻液來達到目的。相對的，伴隨著近年來液晶面板等的大型化，所使用的基板亦在朝大型化方向發展，因此去光阻液的使用量亦在增大。

在使用去光阻液除去基板光阻后，必需要將已用過的去光阻液進行回收。如圖1所示，為目前所使用的去光阻回收系統10，其包括有薄膜蒸發器11、過濾器12、加壓器13以及回收槽14，其中過濾器12設置于薄膜蒸發器11與加壓器13之間，也就是說，過濾器12位于加壓器13的入口端處，由于去光阻回收系統10采用負壓設計，在目前過濾器12位于加壓器13入口端處的配置下，容易發生孔蝕及空抽的現象。

此外，由于過濾器12必需定期清理，在進行清理時必需要停機，且必需由人工進行清理，十分耗時耗力。而且在去光阻回收系統10停/開機時，需要進行降/升溫暖機，過程需要約2至4小時，不僅耗時而且又耗能。

因此，就經濟方面、環境方面考慮，業界均期望對于去光阻液的回收系統能夠有一套更有效率的方式來進行回收。

發明內容

有鑒于現有技術問題，本發明提出一種去光阻液回收系統，本實施例的光阻液回收系統至少包括有薄膜蒸發器、過濾裝置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路，其中排放管路的一端接設于薄膜蒸發器的出液口，另一端則接設于過濾裝置的流入口；流入管路的一端接設于過濾裝置的流出口，另一端則接設于薄膜蒸發器的進液口；排渣管路一端連通于排放管路，另一端則連通于流入管路；回收管路一端接設于過濾裝置的排渣口，另一端則接設于回收槽的回收口。如此，前述各個裝置在藉由各個管路相互連結后，便組成了一個去光阻液的回收系統。

除此之外，在此去光阻液回收系統中還可以包括有加壓裝置，其設置于排放管路上，提供適當的壓力，使回收系統中的去光阻液能夠于各管路及各裝置間流動。

本實施例中的去光阻液回收系統中還包括第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥，其中第一控制閥設置于流入管路上，借以控制流入管路的啟閉，第二控制閥設置于回收管路上，藉以控制回收管路的啟閉，第三控制閥設置于排渣管路上，同樣可借以控制排渣管路的啟閉。

另外，本發明中的過濾裝置是針對去光阻液回收系統所設計，其除了包括在過濾裝置的本體上的流入口、流出口與排渣口等構件外，在過濾裝置的實施例中還包括隔板以及過濾組件，其中隔板徑向設置于本體內，使本體內形成有上下層迭的第一空間與第二空間，而過濾組件則設置于隔板下方，并位于第二空間中，借由此種設計方式，可使得流出口與第一空間連通，而流入口與排放口則與第二空間連通。

最后，在利用本發明的去光阻液回收系統進行廢渣排放作業時，其中第一控制閥為緊閉的狀態，以確認流入管路為斷路形態，第二控制閥為開啟的狀態，使回收管路為通路形態，最后第三控制閥則為開啟的狀態，使排渣管路為通路形態，此時由薄膜蒸發器流出的去光阻液，自出液口流出后，經由排放管路及排放管路上的加壓裝置進行加壓后，去光阻液自過濾裝置的流出口進入于過濾裝置的第一空間內，在去光阻液由第一空間通過濾組件進入第二空間后，會將位于第二空間內的廢渣同時帶走，并經由排渣口而流入回收管路中，再從回收管路自回收口流入于回收槽中進行回收，此即為廢渣排放作業流程。

通過上述設計，去光阻液回收系統在進行廢渣排放作業時無需停機，利用系統的自動排液設計，經由切換管路，便可達到排液時順帶將廢渣一并排除的目的。

為讓本發明的目的、特征和優點能使本領域普通技術人員更易理解，下文舉一優選實施例，并結合附圖作詳細說明如下。

附圖說明

圖1為目前所使用的去光阻回收系統示意圖。

圖2為本發明去光阻液回收系統的實施例示意圖。

圖3為本發明過濾裝置的實施例示意圖。

圖4為本發明去光阻液回收系統的廢液回收示意圖。

圖5為本發明去光阻液回收系統的廢渣回收示意圖。

符號說明

去光阻回收系統10

薄膜蒸發器11

過濾器12

加壓器13

回收槽14

去光阻液回收系統20

加壓裝置21

第一控制閥22

第二控制閥23

第三控制閥24