[發明專利]去光阻液回收系統

無效

• 申請號: 201210393186.2
• 申請日: 2012-10-16
• 公開（公告）號: CN103728846A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 孟文雄;許譽騰
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 馬佑平;王立民

1.一種去光阻液回收系統，包括：

薄膜蒸發器，具有出液口與進液口；

過濾裝置，具有流入口、流出口與排渣口；

回收槽，具有回收口；

排放管路，一端接設于所述出液口，另一端接設于所述流入口；

流入管路，一端接設于所述流出口，另一端接設于所述進液口；

排渣管路，一端連通于所述排放管路，另一端連通于所述流入管路；以及

回收管路，一端接設于所述排渣口，另一端接設于所述回收口。

2.如權利要求1所述的去光阻液回收系統，其特征在于，還包括加壓裝置，設置于所述排放管路上。

3.如權利要求1所述的去光阻液回收系統，其特征在于，還包括第一控制閥，設置于所述流入管路上。

4.如權利要求1所述的去光阻液回收系統，其特征在于，還包括第二控制閥，設置于所述回收管路上。

5.如權利要求1所述的去光阻液回收系統，其特征在于，還包括第三控制閥，設置于所述排渣管路上。

6.一種過濾裝置，適用于去光阻液回收系統，包括：

本體，其上具有流入口、流出口與排渣口；

隔板，徑向設置于所述本體內，使所述本體內形成有上下層迭的第一空間與第二空間；

過濾組件，設置于所述隔板下方，并位于所述第二空間中；

其中，所述流出口與所述第一空間連通，而所述流入口與排放口則與所述第二空間連通。