[發明專利]一種二氧化鈦基選擇吸收薄膜的制備方法

無效

• 申請號: 201210385538.X
• 申請日: 2012-10-12
• 公開（公告）號: CN102888598A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 劉涌;王慷慨;王菊;宋晨路;韓高榮;楊振輝;蘇婷
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: C23C20/08
• 分類號: C23C20/08;G02B1/10
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 韓介梅

1.一種二氧化鈦基選擇吸收薄膜的制備方法，其特征在于包括以下步驟：

1)?將基板清洗干凈；

2)?將鈦酸四丁酯和添加劑攪拌混合，添加劑與鈦酸四丁酯摩爾比為0.2～1.0，得到溶液A；所述的添加劑為乙酰丙酮或二甲基甲酰胺；

將催化劑、水、以及碳源添加物放入乙醇中，攪拌混合，得到B溶液；催化劑與鈦酸四丁酯的摩爾比為0.05～1.0，水與鈦酸四丁酯的摩爾比為2.0～10，碳源添加物與鈦酸四丁酯質量比為0.5～2.0；所述的催化劑為乙酸、水楊酸或氨水；碳源添加物為分子量2000的聚乙二醇或K30標準的聚乙烯吡咯酮；

3)?將步驟2)的B溶液逐滴加入A溶液中，攪拌混合均勻，以乙醇為溶劑配置鈦酸四丁酯濃度為0.01mol/L～0.5mol/L的溶膠；

4)?將步驟3)得到的溶膠在室溫下陳化12h～100h；

5)?利用旋涂儀將凝膠旋涂在步驟1)的基板上，干燥，揮發除去乙醇，得到干膜；

6)?將步驟5)得到的干膜進行熱處理，熱處理溫度400℃～700℃，真空度不低于10^-3Pa，保溫時間為30min～120min。

2.根據權利要求1所述的二氧化鈦基選擇吸收薄膜的制備方法，其特征是所述的基板是玻璃載玻片、石英玻璃或硅片。