[發明專利]運行穩定的用于倒片的變節距夾具

有效

• 申請號: 201210382883.8
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN102881624A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 朱紹明;戴軍
• 申請（專利權）人: 蘇州羅博特科自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L31/18
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 張堅

1.一種運行穩定的用于倒片的變節距夾具，其特征在于：包括由頂板、底板以及兩側板圍成的框架、位于框架內的沿兩側板內表面能夠上下滑動的多層硅片擱置板，所述硅片擱置板具有厚部和薄部，所述厚部的厚度等于小節距高度，所述相鄰層硅片擱置板在薄部位置形成間隙；所述多層硅片擱置板兩側還分別對應每層間隙位置設有間隔固定在調節板上的間距墊片，所述間距墊片的厚度與硅片擱置板的薄部的厚部之和等于大節距高度，所述下層間距墊片至頂層間距墊片的長度逐層等差遞減；另外，還包括有驅動所述調節板使得間距墊片插入或拔出所述間隙的驅動機構。

2.根據權利要求1所述的運行穩定的用于倒片的變節距夾具，其特征在于：所述側板內表面具有兩道豎向的滑槽，所述硅片擱置板兩端分別具有兩個位于所述滑槽內的凸出滑塊。

3.根據權利要求1所述的運行穩定的用于倒片的變節距夾具，其特征在于：所述擱置板具有掏空區域。

4.根據權利要求1所述的運行穩定的用于倒片的變節距夾具，其特征在于：所述薄部位于硅片擱置板的縱向中間位置，兩側邊緣為楔形，所述間距墊片的首端也為楔形。

5.根據權利要求1所述的運行穩定的用于倒片的變節距夾具，其特征在于：所述驅動機構包括安裝在框架上的調節螺桿，所述調節板具有螺紋孔，套在所述調節螺桿上。