[發明專利]發光二極管的制作方法及由該制作方法制作的發光二極管

有效

• 申請號: 201210381744.3
• 申請日: 2012-10-10
• 公開（公告）號: CN103730543A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 連亞琦;洪梓健
• 申請（專利權）人: 展晶科技（深圳）有限公司;榮創能源科技股份有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/36
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及半導體制造方法，尤其涉及一種發光二極管的制造方法及由該制作方法制作的發光二極管。

背景技術

現有的發光二極管(Light?Emitting?Diode,?LED)晶粒通常先制作磊晶結構，再在磊晶結構上形兩電極。兩電極通常采用金屬材料通過電鍍、蒸鍍或微影沉積等方法制作。在形成電極之后通常進行退火處理使形成的金屬電極硬度降低，消除殘余應力，細化電極內部的金屬粒子，改善電極的品質。

然而在電極制作完成后對其進行退火處理時，當電極被加熱到一定溫度后，電極中的金屬粒子會發生擴散，使退火完成后的電極表面變得粗糙。電極表面粗糙使與電極打線連接的金屬引線之間接觸阻抗增加，此外在打線工序中還可能造成打線異常，使金線附著不易或容易脫落等問題；同時，在外觀上，粗糙的電極表面使電極呈現不同的顏色，在后續檢測過程中容易導致機器或操作人員識別時出現誤差。

發明內容

有鑒于此，有必要提供一種具有光滑電極表面的發光二極管的制作方法及由該制作的發光二極管。

一種發光二極管的制作方法，包括：

提供一發光二極管磊晶結構，其包括磊晶層；

在磊晶層上形成第一電極和第二電極；

在磊晶層以及第一電極和第二電極上連續鋪設一鈍化層；

對第一電極和第二電極進行退火處理；以及

去除第一電極和第二電極上覆蓋的鈍化層，使第一電極和第二電極的上表面裸露于外。

一種由上述方法制作的發光二極管。

上述發光二極管晶粒中，對第一電極和第二電極的退火處理在形成鈍化層之后，可防止第一電極和第二電極中的金屬粒子在退火處理過程中在高溫下由于擴散而導致第一電極和第二電極的表面粗糙，導致后續打線工序的異常或在檢驗工序中使電極不易識別。

附圖說明

圖1-圖4是本發明一實施方式提供的一種發光二極管電極的制作方法中各步驟所得的發光二極管晶粒的剖面示意圖。

主要元件符號說明

發光二極管磊晶結構10基板11磊晶層12第一半導體層121有源層122第二半導體層123第一區域13第二區域14透明導電層15第一電極21第二電極22鈍化層30中間金屬層40

如下具體實施方式將結合上述附圖進一步說明本發明。