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[發明專利]一種運行穩定的變節距夾具有效

專利信息
申請號: 201210381370.5 申請日: 2012-10-11
公開(公告)號: CN102856244A 公開(公告)日: 2013-01-02
發明(設計)人: 朱紹明;戴軍 申請(專利權)人: 蘇州羅博特科自動化設備有限公司
主分類號: H01L21/687 分類號: H01L21/687;H01L31/18
代理公司: 上海勝康律師事務所 31263 代理人: 張堅
地址: 215000 江蘇省蘇州市蘇州*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 運行 穩定 變節 夾具
【說明書】:

技術領域

發明屬于光伏硅片生產設備技術領域,尤其涉及光伏硅片生產設備中的運行穩定的變節距夾具。

背景技術

為了提高光伏硅片擴散工藝的產能,在不改變工藝主設備的情況下,將硅片載具石英舟節距變小(如從4.76mm變為4.05mm)是最為便捷和廣泛采用的方法。擴散工藝進行之前,硅片需要從另一種載具花籃倒入石英舟;工藝完成之后,硅片需要從石英舟倒入花籃以便將硅片傳送到下一道工藝。因為工藝間的硅片傳送都采用4.76mm的花籃,所以當石英舟節距為4.76mm時,人工倒片時,只需將兩個載具對齊就可以將硅片從一個載具推至另一個載具。但是當石英舟節距不是4.76mm時,就不能采用這種方法。目前采用的人工倒片方法是:用吸盤一片一片將硅片從一個載具吸起然后插入另外一個載具。這種方法效率低下,勞動強度大,且碎片率不可控。

發明內容

為此,本發明所要解決的技術問題是提供一種運行穩定的變節距夾具,該變節距夾具可以快速、平穩、方便地在兩種不同節距載具間進行倒片,以克服現有技術存在的不足。

為解決上述技術問題,本發明采用如下的技術方案:

一種運行穩定的變節距夾具,其特征在于:包括由頂板、底板以及兩側板圍成的框架、位于框架內的沿兩側板內表面能夠上下滑動的多層硅片擱置板,所述多層硅片擱置板之間具有間隙,每層間隙兩端均設有間距墊片;所述間距墊片首端為薄部,尾端為厚部,中間為漸變斜面,所述薄部插入所述間隙中,所有間距墊片總長度相等,漸變斜面的長度也相等并且最底層的間距墊片到最頂層的間距墊片按如下規律變化:薄部的長度逐漸變長,厚部的長度逐漸縮短;另外還包括有驅動所有間距墊片進入或退出所述間隙的驅動機構。

在本發明的具體實施方式中,所述側板內表面具有兩道豎向的滑槽,所述硅片擱置板兩端分別具有兩個位于所述滑槽內的凸出滑塊。這樣,側板能夠約束硅片擱置板沿側板內表面上下豎向滑動。

為了減小與硅片的摩擦,以使得硅片能夠容易的推入和推出硅片擱置板,所述擱置板具有掏空區域。

所述間距墊片尾端還具有燕尾凸塊,所述驅動機構包括安裝在框架上的調節螺桿以及安裝在調節螺桿上分設在多層擱置板兩側的兩塊調節板,所述調節板內表面具有豎向容置所述燕尾凸塊的燕尾滑槽。

采用上述技術方案,本發明的運行穩定的變節距夾具可以快速變換硅片之間的間距,從而能夠實現快速、平穩、方便地在兩種不同節距載具間進行倒片。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明進行詳細說明:

圖1為本發明的立體結構示意圖。

圖2為本發明的正面結構示意圖。

圖3為圖2中A-A向剖視圖。

圖4為本發明的間距墊片與硅片擱置板之間配合關系示意圖;

圖5為本發明的側板結構示意圖;

圖6為本發明的硅片擱置板的結構示意圖;

圖7為本發明的間距墊片的結構示意圖;

圖7A為最底層的間距墊片示意圖;

圖7B為中間層的間距墊片示意圖;

圖7C為最頂層的間距墊片示意圖;

圖8為本發明的調節板的結構示意圖;

圖9為本發明的動作示意圖。

具體實施方式

如圖1、2、3所示,本發明的運行穩定的變節距夾具,包括框架100、多層硅片擱置板200、間距墊片300以及驅動機構。

其中,框架100由一個頂板110、一個底板120以及兩塊分立于左右兩側的側板130合圍而成,框架100的前后形成開口,可以讓硅片進出。

如圖5所示,側板130的內表面位于兩側具有豎向延伸的滑槽131,中間具有豎向延伸的條狀缺口132。

如圖6所示,每塊硅片擱置板200的厚度為2mm,兩端分別具有兩個凸出滑塊201。結合圖3所示,該凸出滑塊201裝配時,位于側板130的滑槽131內。這樣,硅片擱置板200在側板130的滑槽131的約束下,可沿著側板130上下運動。為減小與硅片的摩擦,以使得硅片能夠容易的推入和推出硅片擱置板,硅片擱置板200的前后側均具有掏空區域202。

如圖7所示,間距墊片300為長條形墊片,首端為薄部301,厚度為2.05mm,尾端為厚部302,厚度為2.76mm,中間為漸變斜面303。在間距墊片300的尾部還具有燕尾凸塊304。結合圖4所示,裝配時,每塊間距墊片300的薄部是插入相鄰硅片擱置板200形成的間隙中。

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