[發明專利]一種運行穩定的變節距夾具

有效

• 申請號: 201210381370.5
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN102856244A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 朱紹明;戴軍
• 申請（專利權）人: 蘇州羅博特科自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L31/18
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 張堅

1.一種運行穩定的變節距夾具，其特征在于：包括由頂板、底板以及兩側板圍成的框架、位于框架內的沿兩側板內表面能夠上下滑動的多層硅片擱置板，所述多層硅片擱置板之間具有間隙，每層間隙兩端均設有間距墊片；所述間距墊片首端為薄部，尾端為厚部，中間為漸變斜面，所述薄部插入所述間隙中，所有間距墊片總長度相等，漸變斜面的長度也相等并且最底層的間距墊片到最頂層的間距墊片按如下規律變化：薄部的長度逐漸變長，厚部的長度逐漸縮短；另外還包括有驅動所有間距墊片進入或退出所述間隙的驅動機構。

2.根據權利要求1所述的運行穩定的變節距夾具，其特征在于：所述側板內表面具有兩道豎向的滑槽，所述硅片擱置板兩端分別具有兩個位于所述滑槽內的凸出滑塊。

3.根據權利要求1所述的運行穩定的變節距夾具，其特征在于：所述擱置板具有掏空區域。

4.根據權利要求2所述的運行穩定的變節距夾具，其特征在于：所述間距墊片尾端還具有燕尾凸塊，所述驅動機構包括安裝在所述框架上的調節螺桿以及安裝在調節螺桿上分設在多層擱置板兩側的兩塊調節板，所述調節板內表面具有豎向的容置所述燕尾凸塊的燕尾滑槽。

5.根據權利要求2所述的運行穩定的變節距夾具，其特征在于：所述側板中間對應所述調節板具有條狀缺口。