[發(fā)明專利]用于純化四氟化硅的方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210380839.3 | 申請(qǐng)日： | 2008-09-11 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102862990A | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-01-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 維塔爾·雷萬(wàn)卡爾;賈米勒·伊布拉希姆 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | MEMC電子材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C01B33/107 | 分類號(hào)： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務(wù)所 11247 | 代理人： | 唐秀玲;林柏楠 |
| 地址： | 美國(guó)密*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 純化 氟化 方法 | ||
1.一種用于從四氟化硅氣體中除去雜質(zhì)的催化劑，所述催化劑包含：
具有表面的惰性基材，其選自氧化鋯、水合硅酸鋁、二氧化硅、氧化鋁、氧化釔和它們的混合物，該惰性基材包含金屬氧化物穩(wěn)定劑，其中該金屬氧化物穩(wěn)定劑包含選自鑭系元素、錒系元素、鎂、釔、鈣及其混合物的金屬，惰性基材中穩(wěn)定劑的量低于約0.1重量%；以及
催化金屬氧化物，其包含惰性基材表面上或接近惰性基材表面處的選自銅、錳、鉻、鈷、鉈、鉬、銀和它們的混合物的催化金屬。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的催化劑，其中所述催化金屬氧化物包含選自銅、錳和它們的混合物的催化金屬。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的催化劑，其中所述惰性基材包括氧化鋯、水合硅酸鋁和它們的混合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的催化劑，其中所述惰性基材包含低于約0.1重量%的氧化釔作為穩(wěn)定劑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的催化劑，其中所述催化劑包含至少為約95重量%的惰性基材、低于約3重量%的催化金屬。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的催化劑，其中所述催化劑包含約0.001重量%-約1.0重量%的催化金屬。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的催化劑，其中所述催化劑包含約95重量%-約99.999重量%的惰性基材。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的催化劑，其中所述基材具有約1m2/g-約1000m2/g的表面積。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的催化劑，其中所述基材具有約30%-約80%的整體孔隙率。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的催化劑，其中所述基材具有約1%-約20%的微孔率。
11.一種用于制備包含惰性基材和惰性基材表面上或接近惰性基材表面處的催化金屬氧化物的催化劑的方法，所述方法包括：
將催化金屬浸漬在惰性基材的表面上或遍及大部分惰性基材，該惰性基材包含金屬氧化物穩(wěn)定劑，其中該金屬氧化物穩(wěn)定劑包含選自鑭系元素、錒系元素、鎂、釔、鈣及其混合物的金屬，惰性基材中穩(wěn)定劑的量低于約0.1重量%；以及
將經(jīng)金屬浸漬的惰性基材加熱至至少約250°C的溫度以形成惰性基材表面上或接近惰性基材表面處的催化金屬氧化物。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中將所述經(jīng)金屬浸漬的惰性基材加熱至約250°C-約1000°C的溫度。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其中所述惰性基材包含惰性金屬氧化物并通過(guò)使包含惰性金屬的第一金屬鹵化物與氫在氧和氫焰中反應(yīng)以制備惰性基材粉末來(lái)制備。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中通過(guò)在第一金屬鹵化物與氫反應(yīng)的同時(shí)使包含催化金屬的第二金屬鹵化物與氫在氧和氫焰中反應(yīng)而在整個(gè)惰性基材中浸漬所述催化金屬。
15.根據(jù)權(quán)利要求11-14任一項(xiàng)所述的方法，其中通過(guò)將催化金屬?gòu)慕饘冫}溶液中沉淀至惰性基材上來(lái)將所述催化金屬浸漬在惰性基材上。
16.根據(jù)權(quán)利要求11-15任一項(xiàng)所述的方法，其中所述催化金屬氧化物包含選自銅、錳、鉻、鈷、鉈、鉬、銀和它們的混合物的金屬。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述催化金屬氧化物包含選自銅、錳以及它們的混合物的金屬。
18.根據(jù)權(quán)利要求11-17任一項(xiàng)所述的方法，其中惰性基材選自氧化鋯、水合硅酸鋁、二氧化硅、氧化鋁、氧化釔和它們的混合物。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述惰性基材選自氧化鋯、水合硅酸鋁或它們的混合物。
20.根據(jù)權(quán)利要求11-19任一項(xiàng)所述的方法，其中所述惰性基材包含低于約0.1重量%的氧化釔作為穩(wěn)定劑。
21.根據(jù)權(quán)利要求11-20任一項(xiàng)所述的方法，其中所述催化劑包含至少約95重量%的惰性基材、和低于約3重量%的催化金屬。
22.根據(jù)權(quán)利要求11-21任一項(xiàng)所述的方法，其中所述催化劑包含約0.001重量%-約1.0重量%的催化金屬。
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