[發(fā)明專利]機(jī)器人和機(jī)器人安裝方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210379826.4
• 申請(qǐng)日: 2012-10-09
• 公開（公告）號(hào): CN103159026A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古川伸征;小原勇樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社安川電機(jī)
• 主分類號(hào): B65G49/06
• 分類號(hào): B65G49/06
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術(shù)領(lǐng)域

本文公開的實(shí)施方式涉及一種機(jī)器人和機(jī)器人安裝方法。

背景技術(shù)

作為工業(yè)機(jī)器人，傳統(tǒng)上已知有用于搬運(yùn)諸如基板之類的工件的搬運(yùn)機(jī)器人。作為搬運(yùn)機(jī)器人，已知有例如構(gòu)造成沿水平方向伸展和縮回的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人。水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人包括在其末端處設(shè)置有用于保持工件的手的臂單元。

搬運(yùn)機(jī)器人被使用在例如半導(dǎo)體制設(shè)備或者液晶面板制造設(shè)備中，以搬運(yùn)諸如半導(dǎo)體晶片或玻璃基板的工件。在這些設(shè)備中，通常的情況是工件在減壓真空室內(nèi)進(jìn)行處理。為此，搬運(yùn)機(jī)器人通常布置在真空室內(nèi)。搬運(yùn)機(jī)器人被稱為真空機(jī)器人（例如參見日本特開2011-101912號(hào)公報(bào)）。

在搬運(yùn)機(jī)器人（真空機(jī)器人）安裝在真空室內(nèi)的情況下，通常的是，搬運(yùn)機(jī)器人通過使用頂棚吊車被升起并且移動(dòng)到真空室上方。然后，搬運(yùn)機(jī)器人被降下并且放入真空室中。

近年來，諸如玻璃基板和半導(dǎo)體晶片的工件的尺寸變得更大，因而搬運(yùn)機(jī)器人和真空室的尺寸也趨于變得更大。這可能使得難以將搬運(yùn)機(jī)器人安裝在真空室內(nèi)。

例如，搬運(yùn)機(jī)器人隨著其變得更大而高度趨于增大。為了將大型搬運(yùn)機(jī)器人定位在真空室上方，因此期望的是擴(kuò)大用于運(yùn)入搬運(yùn)機(jī)器人的空間，即，位于真空室的上表面和供安裝真空室的房間的頂棚表面之間的空間。然而，如果搬運(yùn)機(jī)器人的高度增加，則用于容納搬運(yùn)機(jī)器人的真空室的高度變得更大，但頂棚表面的高度保持不變。這使得難以擴(kuò)大用于運(yùn)入搬運(yùn)機(jī)器人的空間。

如上所述，如果搬運(yùn)機(jī)器人的尺寸變得更大，則可能變得難以將機(jī)器人安裝在真空室內(nèi)。

發(fā)明內(nèi)容

本文所公開的實(shí)施方式提供了一種能夠被容易地安裝在室中的機(jī)器人以及能夠?qū)C(jī)器人容易地安裝在室內(nèi)的機(jī)器人安裝方法。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種機(jī)器人，該機(jī)器人包括：基座單元，該基座單元從限定作業(yè)空間的室的底面部的下方被升起并且連接到所述室的所述底面部；以及臂單元，該臂單元被從所述室的上方運(yùn)入所述室中，并且連接到與所述室的所述底面部連接的所述基座單元的上部。

通過本文所公開的實(shí)施方式，可以提供一種能夠被容易地安裝在室內(nèi)的機(jī)器人和能夠?qū)C(jī)器人容易地安裝在室內(nèi)的機(jī)器人安裝方法。

附圖說明

圖1是示出根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式的機(jī)器人的示意性說明圖。

圖2是示出安裝在真空室內(nèi)的機(jī)器人的示意性說明剖面圖。

圖3是示出主體單元和臂基座的示意性說明剖面圖。

圖4是將機(jī)器人的高度與供將機(jī)器人運(yùn)入真空室中的空間的高度對(duì)比的圖。

圖5A是圖示將主體單元安裝在真空室中的方法的說明圖。

圖5B是圖示將主體單元安裝在真空室中的另一種方法的說明圖。

圖5C是圖示將臂單元安裝在真空室中的方法的說明圖。

圖6是圖示將臂單元相對(duì)于主體單元粗略定位的方法的說明圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在將參照形成本發(fā)明的一部分的附圖來詳細(xì)地描述本文公開的機(jī)器人和機(jī)器人安裝方法的實(shí)施方式。本公開內(nèi)容不限于以下將描述的實(shí)施方式。

首先，將參照?qǐng)D1描述根據(jù)本實(shí)施方式的機(jī)器人的構(gòu)造。圖1是示出根據(jù)該實(shí)施方式的機(jī)器人的示意性說明圖。

如圖1所示，機(jī)器人1是水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人，該機(jī)器人包括：臂單元20，該臂單元具有兩個(gè)能夠沿水平方向伸展和縮回的可伸展臂；以及主體單元10，該主體單元用于支承臂單元20。在本實(shí)施方式中，主體單元10構(gòu)成基座單元。

主體單元10包括安裝在管狀殼體11內(nèi)的下述升降裝置40（參見圖3）。主體單元10通過使用升降裝置40而沿著豎直方向上下移動(dòng)臂單元20。以下將參照?qǐng)D3更詳細(xì)地描述升降裝置40。

在殼體11的上部中形成凸緣部12。凸緣部12借助螺栓等連接到形成于真空室30中（參見圖2）的作為單元連接開口的開口部31的周緣，所述真空室30中限定有作業(yè)空間。結(jié)果，機(jī)器人1被安裝在真空室30中。稍后將參照?qǐng)D2更詳細(xì)地描述以上構(gòu)造。稍后將參照?qǐng)D5A至圖5C更詳細(xì)地描述將主體單元10安裝到真空室30的方法。

臂單元20是借助稍后待述的升降凸緣單元15連接到主體單元10的單元。臂單元20包括臂基座21、第一臂22、第二臂23、手基座24以及輔助臂部25。

臂基座21以可旋轉(zhuǎn)的方式支承在升降凸緣單元15上。臂基座21設(shè)置有擺動(dòng)裝置60（參見圖3），該擺動(dòng)裝置包括馬達(dá)61a、減速器61b和擺動(dòng)軸62。臂基座21通過使用擺動(dòng)裝置60而進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。稍后將參照?qǐng)D3更詳細(xì)地描述擺動(dòng)裝置60的構(gòu)造。