[發明專利]一種預防晶圓滑落的裝置及方法

有效

• 申請號: 201210375754.6
• 申請日: 2012-10-08
• 公開（公告）號: CN102915937A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 顧曉芳;劉永波;倪棋梁;龍吟;陳宏璘
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/683
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種預防晶圓滑落的裝置，應用于晶圓檢測機臺上，包括用于固定晶圓的固定器，所述固定器通過管腳固定所述晶圓，其特征在于，還包括與所述機臺的檢測系統通訊連接的光檢測裝置；

所述管腳上設置有與所述光檢測裝置匹配的通孔；

所述光檢測裝置包括光信號發射裝置和光信號接收裝置，所述光信號發射裝置發射的光信號通過所述通孔照射到所述光信號接收裝置上；

其中，所述通孔位于所述管腳上與所述晶圓卡接時的重疊部分。

2.根據權利要求1所述的預防晶圓滑落的裝置，其特征在于，所述管腳的材質為能夠遮擋所述光信號傳輸的材質。

3.根據權利要求1所述的預防晶圓滑落的裝置，其特征在于，所述光發射裝置發射的光信號不能透過所述晶圓傳輸。

4.根據權利要求1所述的預防晶圓滑落的裝置，其特征在于，所述光檢測裝置與所述機臺的報警系統連接。

5.根據權利要求1所述的預防晶圓滑落的裝置，其特征在于，每個所述管腳上均設置有光檢測裝置。

6.一種預防晶圓滑落的方法，包括如權利要求1-5中任意一項所述的預防晶圓滑落的裝置，其特征在于，還包括：

步驟S1：將所述晶圓卡接至所述固定器的管腳上；

步驟S2：管腳上設置的光檢測裝置均進行光信號檢測；

步驟S3：若有任意一個所述光檢測裝置的光信號接收裝置上接收到光信號發射裝置發射的光信號，則啟動報警裝置并進行停機檢查；

步驟S4：調整固定器，并將所述晶圓重新卡接至所述固定器的管腳上，并依次重復步驟S2和步驟S3；

步驟S5：若任意一個所述光檢測裝置的光信號接收裝置上均沒有接收到光信號發射裝置發射的光信號，則繼續進行晶圓檢測分析工藝。