[發明專利]一種使器件在手套箱與真空室之間轉移的傳遞裝置

有效

• 申請號: 201210370047.8
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN102851637A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 劉星元;林杰;李會斌
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

技術領域

本發明屬于真空鍍膜技術領域，涉及一種真空鍍膜領域的真空輔助部件，具體涉及一種使器件在手套箱與真空室之間轉移的傳遞裝置。

背景技術

當前，隨著科學技術的發展，真空沉積的多層膜器件層出不窮，器件的生產過程中多層膜要求不脫離真空環境或保護氣體的環境進行清洗、光刻、檢測和封裝等多種操作；手套箱可以使器件不脫離真空環境或保護氣體的環境進行清洗、光刻、檢測和封裝等多種操作；這樣就需要使多層膜器件在真空室與手套箱之間傳遞，手套箱與真空室之間的過渡室保證了器件在轉移過程中不脫離真空環境。

現有的過渡室大多采用直桿機械手方式或采用齒輪帶動齒條再帶動載器件的小車的方式，把器件從一個室取出再送人另一個室，這些方式不可避免的使過渡室體積較大，占地面積大；工作時，由于過渡室體積大，導致真空抽氣的時間較長，并且需要充入較大量的保護氣體，造成資源的浪費。

發明內容

本發明的目的在于提出了一種使器件在手套箱與真空室之間轉移的傳遞裝置，解決現有技術中過渡室體積龐大而導致的抽氣時間較長的問題，并且避免資源的浪費。

為實現上述目的，本發明的傳遞裝置包括轉移機構及托板；所述托板的右端部固定在所述轉移機構左端部的連接軸上，所述轉移機構可帶動托板移動，所述轉移機構與所述托板整體位于過渡室中，所述轉移機構右端與過渡室壁的右側連接，過渡室右端與手套箱連接、左端通過插板閥與真空室接口連接。

所述轉移機構為X桿機構，所述手套箱箱口處裝有真空夾閥。

所述真空室接口內裝有前滑道，過渡室內裝有后滑道，所述前滑道及所述后滑道在同一條直線上，所述托板可在所述前滑道及所述后滑道上滑動。

所述過渡室的前后兩面壁上同軸安有前收放軸座和后收放軸座，在這兩個軸座中安裝有可旋轉的收放軸；所述收放軸上套有正螺紋滑塊和反螺紋滑塊，所述正螺紋滑塊與所述反螺紋滑塊與收放軸中部的正反螺紋配合，所述正螺紋滑塊與所述反螺紋滑塊通過支板軸分別與所述X桿機構右端部的兩個交叉的支板連接。

所述過渡室壁上裝有排氣口和充氣口。

所述真空夾閥包括動緊板、定緊板以及偏心扳手；所述動緊板和所述定緊板的外徑同手套箱箱口的內徑間隙配合；所述動緊板中心的軸穿過定緊板，并且與偏心扳手通過拉緊軸相連，旋動所述偏心扳手可以使動緊板和定緊板貼緊和松開；所述動緊板和所述定緊板對應邊緣各有一個斜面夾有密封圈，當動緊板和定緊板貼緊時，密封圈擠出并與手套箱箱口的壁貼緊實現真空密封。

所述傳遞裝置安裝過程中整體保證真空密封。

本發明的有益效果：本發明的傳遞裝置通過X桿機構的伸縮實現器件在真空室與手套箱之間的傳遞，減小了過渡室的體積，縮短了工作時真空抽氣時間，減少了保護氣體的沖入量，避免了資源的浪費。

附圖說明

圖1為本發明的傳遞裝置收回狀態時的剖視圖；

圖2為本發明的床底裝置送出狀態時的剖視圖；

其中：1、真空室壁，2、真空室接口，3、前滑道，4、插板閥，5、托板，6、排氣口，7、后滑道，8、充氣口，9、連接軸，10、支板軸，11、前收放軸座，12、正螺紋滑塊，13、手套箱，14、收放軸，15、偏心扳手，16、拉緊軸，17、動緊板，18、定緊板，19、彈簧，20、密封圈，21、旋鈕，22、后收放軸座，23、反螺紋滑塊，24、支板。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步描述。

實施例一：

參見附圖1、2，本發明的傳遞裝置中插板閥4的一面與真空室接口2連接，另一面和過渡室的一個口相連接。過渡室的另一個口與手套箱13相連接。所述過渡室的內徑100mm，長200mm。在真空室接口2內裝有前滑道3，在過渡室內裝有后滑道7，它們共同保證了托板5在其中順利地直線滑動。在過渡室壁上裝有排氣口6和充氣口8，用以抽出過渡室的氣體和充入保護氣體，它們都裝有閥門。同時，在過渡室的前后兩面壁上同軸安有前收放軸座11和后收放軸座22，在這兩個軸座中裝有可旋轉的收放軸14，它們要保證真空密封。收放軸14的直徑為8mm。收放軸14的中部有對應的正反螺紋，在正反螺紋部分分別裝有可滑動的正螺紋滑塊12和反螺紋滑塊23。