[發明專利]一種使器件在手套箱與真空室之間轉移的傳遞裝置

有效

• 申請號: 201210370047.8
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN102851637A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 劉星元;林杰;李會斌
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.一種使器件在手套箱與真空室之間轉移的傳遞裝置，其特征在于，包括轉移機構及托板（5）；所述托板（5）的右端部固定在所述轉移機構左端部的連接軸（9）上，所述轉移機構可帶動托板（5）移動，所述轉移機構與所述托板（5）整體位于過渡室中，所述轉移機構右端與過渡室壁的右側連接，過渡室右端與手套箱（13）連接、左端通過插板閥（4）與真空室接口（2）連接。

2.根據權利要求1所述的傳遞裝置，其特征在于，所述轉移機構為X桿機構，所述手套箱（13）箱口處裝有真空夾閥。

3.根據權利要求1所述的傳遞裝置，其特征在于，所述真空室接口（2）內裝有前滑道（3），過渡室內裝有后滑道（7），所述前滑道（3）及所述后滑道（7）在同一條直線上，所述托板（5）可在所述前滑道（3）及所述后滑道（7）上滑動。

4.根據權利要求2所述的傳遞裝置，其特征在于，所述過渡室的前后兩面壁上同軸安有前收放軸座（11）和后收放軸座（22），在這兩個軸座中安裝有可旋轉的收放軸（14）；所述收放軸（14）上套有正螺紋滑塊（12）和反螺紋滑塊（23），所述正螺紋滑塊（12）與所述反螺紋滑塊（23）與收放軸（14）中部的正反螺紋配合，所述正螺紋滑塊（12）與所述反螺紋滑塊（23）通過支板軸（10）分別與所述X桿機構右端部的兩個交叉的支板（24）連接。

5.根據權利要求1所述的傳遞裝置，其特征在于，所述過渡室壁上裝有排氣口（6）和充氣口（8）。

6.根據權利要求2所述的傳遞裝置，其特征在于，所述真空夾閥包括動緊板（17）、定緊板（18）以及偏心扳手（15）；所述動緊板（17）和所述定緊板（18）的外徑同手套箱（13）箱口的內徑間隙配合；所述動緊板（17）中心的軸穿過定緊板（18），并且與偏心扳手（15）通過拉緊軸（16）相連，旋動所述偏心扳手（15）可以使動緊板（17）和定緊板（18）貼緊和松開；所述動緊板（17）和所述定緊板（18）對應邊緣各有一個斜面夾有密封圈（20），當動緊板（17）和定緊板（18）貼緊時，密封圈（20）擠出并與手套箱（13）箱口的壁貼緊實現真空密封。