[發(fā)明專利]楔形板組的膠合方法和夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210368913.X
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN103091997A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔣泉權(quán);魏向榮;顧亞平
• 申請（專利權(quán)）人: 上海現(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

技術(shù)領(lǐng)域

?本發(fā)明涉及光刻機，特別是一種用于光刻機的楔板組的膠合方法和夾具，該楔板組膠合主要用于光衍射分離，該向成果直接影響到光刻機里的硅片向位光柵自動對準。

背景技術(shù)

目前歐美國家膠合(40到60)x(40到60)mm材料為肖特BK7（加工完光圈為N=1，△N=0.3，中心區(qū)域見圖1所示N=0.2，△N=0.1；鍍膜后進行膠合，膠合后光圈要求為N=1，△N=0.3），中心區(qū)域膠合完成后可以到達N=0.2，△N=0.1的要求，膠層厚度控制在15μm，膠水面積擴散特定的區(qū)域，且膠水的最終擴散面積控制在直徑為8--12mm之間；但是國內(nèi)企業(yè)膠合的楔板組膠合完成后，中心區(qū)域光圈為N=2～2.5，△N=1～1.5，遠遠不能滿足90nm光刻機的要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于光刻機的楔板組的膠合方法，克服國外對中國該項技術(shù)的封鎖，滿足國內(nèi)90nm光刻機的設(shè)計需要，即使(40～60)x(40～60)mm材料為肖特BK7（加工完光圈為N=1，△N=0.3，中心區(qū)域的N=0.2，△N=0.1；鍍膜后進行膠合，膠合后光圈要求為N=1，△N=0.3）中心區(qū)域膠合完成后可以到達N=0.5，△N=0.5的要求，并且可以控制膠水的厚度和面積，使之符合要求。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案是：

???1、一種用于光刻機的楔板組的膠合方法，其特點在于，該方法包括下列步驟：

①建立超凈工作室和超凈工作臺，室內(nèi)溫度為20～26℃±0.1℃，濕度為50～70%，標準大氣壓下超凈工作臺上進行膠合工作；

②在超凈工作臺，工作人員帶上防靜電手套和口罩,對待用的鍍膜后的楔形板用Zygo?VeriFire非球面干涉儀上進行測量，對符合要求的鍍膜楔形板用防靜電光學玻璃擦拭布蘸上酒精進行擦拭,在擦拭過程中把楔形板放在100w的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，擦拭完畢，把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染；

③將第一快楔形板置于楔板膠合夾具上，使第一快楔形板的兩邊靠貼所述的楔板膠合夾具上的基準靠邊，確保膠合面朝上并成水平，然后采用點膠機并在氣壓為0.1～0.2Mpa，控制時間在1.5～3.5s對膠合區(qū)域（如圖5所示陰影部分）進行控膠量點膠，再將第二楔形板的膠合面輕輕地放置在第一楔形板的膠合面上，在兩基準靠邊的對面給所述的楔形板施加一定力，構(gòu)成楔板組；

④打開紫外光源對膠點（根據(jù)實際點膠位置）進行20～50s曝光等待5～10分鐘，獲得半固化膠合楔板組；

?⑤初步固化測量：

將所述的楔板組連同楔板膠合夾具一起拿到Zygo?VeriFire非球面干涉儀上進行測量，檢查楔板組的正面面形，當面形符合設(shè)計要求時，進入步驟⑥；當面形不符合設(shè)計要求時，進入步驟⑦；

⑥卸下基準邊靠邊對面的施力，等待5分鐘后，翻轉(zhuǎn)所述的楔板組，再利用Zygo?VeriFire非球面干涉儀進行反面面形測量，當反面面形不符合設(shè)計要求時，進入步驟⑦；當反面面形符合要求時，楔板組初步固化合格，則進入步驟⑧;?

⑦所述的楔板組卸離所述的楔板膠合夾具后，將所述的楔板組用二氯甲烷浸泡或者酒精浸泡，拆卸所述的半固化膠合楔板組，進入步驟②；

⑧最終固化測量：

用所述的紫外光源，對初步固化合格的楔板組再照射兩次，每次120秒，間隔為3～5分鐘，將楔板組連同楔形板基座放在恒溫箱內(nèi)，經(jīng)22～26小時后再次進行測量，當測量面形不符合設(shè)計要求時，則進入步驟⑨，當測量面形符合設(shè)計要求時，楔板組最終固化膠合成功，稱為膠合好的楔板組，進入步驟⑩；

⑨采用現(xiàn)有的工藝拆分楔板組（用二氯甲烷進行元件分離，粘結(jié)處必須浸泡在溶劑中，通常一夜便可分離。）進入步驟②；

⑩對膠合好的楔板組進行包裝，將包裝好的楔板組放在恒溫箱內(nèi)五天以上，讓其完全固化，完全固化后待用。

所述的鍍膜楔形板光圈標準要求：N=1，△N=0.3，中心區(qū)域N=0.2，△N=0.1。

所述的膠合后楔板組的光圈標準要求為：N=1，△N=0.3，中心區(qū)域的光圈N=0.5，△N=0.5。

所述的控制膠量點膠采用型號為OPAS?ZERO?580的點膠機，點膠機氣壓跳到0.1--0.2Mpa，時間控制在1.5--3.5s。

上述膠合方法，利用一種用于光刻機的楔形板組的夾具，該夾具包括夾具體底座，該夾具體底座的四周分別設(shè)有楔板基準靠邊，該夾具體底座的相鄰兩邊外側(cè)還分別設(shè)有彈簧和定位銷。

所述的彈簧用于提供少許力。