[發明專利]楔形板組的膠合方法和夾具

有效

• 申請號: 201210368913.X
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN103091997A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 蔣泉權;魏向榮;顧亞平
• 申請（專利權）人: 上海現代先進超精密制造中心有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種用于光刻機的楔形板組的膠合方法，其特征在于，該方法包括下列步驟：

①建立超凈工作室和超凈工作臺，室內溫度為20～26℃±0.1℃，濕度為50～70%標準大氣壓下超凈工作臺上進行膠合工作；

②在超凈工作臺，工作人員帶上防靜電手套和口罩,對待用的鍍膜楔形板用Zygo?VeriFire非球面干涉儀上進行測量，對符合要求的鍍膜楔形板用防靜電光學玻璃擦拭布蘸上酒精進行擦拭,在擦拭過程中把楔形板放在100w的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，擦拭完畢，把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染；

③從所述的玻璃器皿中取出一塊楔形板稱為第一楔形板（1）置于楔板膠合夾具上，使第一楔形板的兩邊靠貼所述的楔板膠合夾具上的楔板基準靠邊（5），確保膠合面（3）朝上并成水平，然后采用點膠機并在氣壓為0.1～0.2Mpa，控制時間在1.5～3.5s對膠合區域進行控膠量點膠，從所述的玻璃器皿中取出一塊楔形板稱為第二楔形板（2），再將第二楔形板（2）的膠合面輕輕地放置在第一楔形板的膠合面上，在兩基準靠邊的對面給所述的楔形板施加一定力，構成楔板組；

④打開紫外光源，用雙光纖或者單光纖對膠點進行20～50s曝光，等待5～10分鐘，獲得半固化膠合楔板組；

?⑤初步固化測量：

將所述的楔板組連同楔板膠合夾具一起拿到Zygo?VeriFire非球面干涉儀上進行測量，檢查楔板組的正面面形，當面形符合設計要求時，進入步驟⑥；當面形不符合設計要求時，進入步驟⑦；

⑥卸下基準邊靠邊對面的施力，等待5分鐘后，翻轉所述的楔板組，再利用Zygo?VeriFire非球面干涉儀進行反面面形測量，當反面面形不符合設計要求時，進入步驟⑦；當反面面形符合要求時，楔板組初步固化合格，則進入步驟⑧;?

⑦將所述的楔板組卸離所述的楔板膠合夾具后，用二氯甲烷或者酒精浸泡所述的楔板組，拆卸所述的半固化膠合楔板組，進入步驟②；

⑧最終固化測量：

用所述的紫外光源，對初步固化合格的楔板組再照射兩次，每次120秒，間隔為3～5分鐘，將楔板組連同楔形板基座放在恒溫箱內，經22～26小時后再次進行測量，當測量面形不符合設計要求時，則進入步驟⑨，當測量面形符合設計要求時，楔板組最終固化膠合成功，稱為膠合好的楔板組，進入步驟⑩；

⑨采用現有的工藝拆分楔板組，進入步驟②；

⑩對膠合好的楔板組進行包裝，將包裝好的楔板組放在恒溫箱內五天以上，讓其完全固化，完全固化后待用。

2.根據權利要求1所述的楔板組的膠合方法，其特征在于所述的鍍膜楔形板光圈標準要求：N=1，△N=0.3，中心區域N=0.2，△N=0.1。

3.根據權利要求1所述的楔板組的膠合方法，其特征在于所述的膠合后楔板組的光圈標準要求為：N=1，△N=0.3，中心區域的光圈N=0.5，△N=0.5。

4.一種用于光刻機的楔形板組的夾具，其特征在于，該夾具包括夾具體底座（4），該夾具體底座（4）的四周分別設有楔板基準靠邊（5），該夾具體底座（4）的相鄰兩邊外側還分別設有彈簧（7）和定位銷（8）。