[發(fā)明專利]制造銅電極的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210367450.5
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號(hào): CN103578651B
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黑木正勝
• 申請（專利權(quán)）人: E·I·內(nèi)穆爾杜邦公司
• 主分類號(hào): H01B13/00
• 分類號(hào): H01B13/00;H01B5/14;H01B1/22
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 朱黎明

本發(fā)明涉及一種制造銅電極的方法，包括如下步驟：將導(dǎo)體漿料施涂到基板上以形成導(dǎo)體漿料層，所述導(dǎo)體漿料層包含：(i)100重量份涂覆有金屬氧化物的銅粉，所述金屬氧化物選自氧化硅(SiO2)、氧化鋅(ZnO)、氧化鋁(Al2O3)、氧化鈦(TiO2)、氧化鎂(MgO)以及它們的混合物；(ii)5至30重量份的硼粉；和(iii)0.1至10重量份的玻璃料；分散在(iv)有機(jī)載體中；以及在空氣中焙燒所述導(dǎo)體漿料。

發(fā)明領(lǐng)域

本發(fā)明涉及制造銅電極的方法和在該方法中使用的導(dǎo)體漿料。

發(fā)明背景

硼粉用于在導(dǎo)體漿料中與銅(Cu)粉組合形成銅電極，以便減少Cu粉在空氣中的焙燒過程中發(fā)生氧化。然而，在焙燒過程中硼粉可被氧化至流出，導(dǎo)致玻璃狀洗脫，如圖2中所見。洗脫會(huì)在銅電極中造成缺陷，諸如破壞和開口線。

US8129088公開了電極的空氣焙燒類型，該電極由包含銅粉、硼粉、玻璃料、光致聚合引發(fā)劑、可光致聚合的單體和有機(jī)介質(zhì)的感光漿料形成。

發(fā)明概述

本發(fā)明的一個(gè)目的是提供通過在空氣中焙燒而形成主要包含銅的電極的方法。

本發(fā)明的一個(gè)方面涉及制造電極的方法，該方法包括以下步驟：在基板上施涂導(dǎo)體漿料以形成導(dǎo)體漿料層，其包含：(i)100重量份涂覆有金屬氧化物的銅粉，所述金屬氧化物選自氧化硅(SiO2)、氧化鋅(ZnO)、氧化鋁(Al2O3)、氧化鈦(TiO2)、氧化鎂(MgO)以及它們的混合物；(ii)5至30重量份的硼粉；和(iii)0.1至10重量份的玻璃料；分散在(iv)有機(jī)載體中；以及在空氣中焙燒導(dǎo)體漿料。

本發(fā)明的另一個(gè)方面涉及導(dǎo)體漿料，其包含：(i)100重量份涂覆有金屬氧化物的銅粉，所述金屬氧化物選自氧化硅(SiO2)、氧化鋅(ZnO)、氧化鋁(Al2O3)、氧化鈦(TiO2)、氧化鎂(MgO)以及它們的混合物；(ii)5至30重量份的硼粉；和(iii)0.1至10重量份的玻璃料；分散在(iv)有機(jī)載體中。

可通過本發(fā)明形成具有較少洗脫的銅電極。

附圖簡述

圖1的(A)至(D)說明制造電極的光刻法。

圖2示出具有洗脫的銅線。

發(fā)明詳述

Cu電極通過在空氣中焙燒導(dǎo)體漿料而形成。導(dǎo)體漿料包含分散到有機(jī)載體中以形成“漿料”的無機(jī)粉末，諸如Cu粉，該漿料具有適當(dāng)?shù)恼扯纫允┩康交迳?。制造Cu電極的方法以及導(dǎo)體漿料將在下文中分別說明。

制造電極的方法

Cu電極通過在基板上施涂導(dǎo)體漿料形成導(dǎo)體漿料層并在空氣中焙燒導(dǎo)體漿料層而形成。

對基板并無限制。可根據(jù)電氣器件來選擇基板；例如，等離子體顯示面板(PDP)選用玻璃基板，太陽能電池選用半導(dǎo)體基板，并且電容電極選用陶瓷基板。在一個(gè)實(shí)施方案中，基板可選自玻璃基板、半導(dǎo)體基板、陶瓷基板和金屬基板。當(dāng)基板為金屬基板或半導(dǎo)體基板時(shí)，可在形成電極的一面上形成絕緣層。

在基板上施涂導(dǎo)體漿料的方式可為絲網(wǎng)印刷、噴嘴分配或膠版印刷。通常使用可在短時(shí)間內(nèi)將導(dǎo)體漿料施涂到基板上的絲網(wǎng)印刷。導(dǎo)體漿料層的圖案可為任何期望的電極圖案，諸如線條和方形。