[發明專利]基板處理裝置以及基板處理方法

無效

• 申請號: 201210367396.4
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN103028583A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 北川廣明;宮勝彥
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B08B11/00
• 分類號: B08B11/00;B08B11/04
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;郭曉東

技術領域

本發明涉及使粘接構件與半導體晶片、光掩模用玻璃基板、液晶顯示用玻璃基板、等離子顯示用玻璃基板、光盤用基板等各種基板的表面抵接之后，剝離該粘接構件來清洗基板表面的技術。

背景技術

為了從基板的表面除去顆粒等附著物而提出了各種技術，作為其中的一個在日本特開昭63-48678號公報中記載了采用了粘接構件的所謂粘剝清洗（粘接/剝離來進行清洗）技術（圖1）。該文獻記載的裝置，在加壓輥上卷繞粘接帶，并且一邊將該加壓輥朝向基板的表面按壓一邊使粘接帶循環移動。因此，在加壓輥朝向基板表面按壓的位置上，粘接帶與基板的表面接觸來捕獲附著于基板表面上的附著物之后，粘接帶以保持通過帶移動而粘接了附著物的狀態從基板表面剝離。這樣，從基板表面除去附著物，來清洗基板表面。

但是，將粘剝技術應用于表面上形成有圖案的基板的情況下，當然會使附著物的除去率優異，但是抑制圖案倒塌等損傷的產生即損傷抑制性能也非常重要。但是，這樣在采用以往的粘剝清洗技術來清洗具有圖案基板時，除去率和損傷抑制性能都不穩定。即，在每次執行清洗處理時，除去率以及損傷產生率變動很大，這方面成為應用上的很大問題。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于，在使粘接構件與形成有圖案的基板表面抵接之后剝離該粘接構件來從基板表面除去附著物的基板處理技術中，穩定地獲取優異的附著物的除去率以及損傷抑制性能。

本發明是相對于基板的基準部以規定的位置關系，清洗形成有圖案的上述基板的表面的基板處理裝置以及基板處理方法。為了達到上述目的，該基板處理裝置的特征在于，具有：基板保持部，保持基板；清洗部，使粘接構件與被基板保持部保持的基板的表面抵接，沿著基板的表面向不與圖案的朝向垂直的方向剝離粘接構件，由此清洗基板的表面。

另外，為了達到上述目的，在該基板處理方法的特征在于，具有：保持工序，將基板保持于基板保持部；抵接工序，使粘接構件與被基板保持部保持的基板的表面抵接；剝離工序，沿著基板的表面向不與圖案的朝向垂直的方向剝離粘接構件，由此清洗基板的表面。

在這樣構成的發明（基板處理裝置以及基板處理方法）中，通過沿著基板的表面剝離與基板的表面抵接的粘接構件，來清洗基板的表面，但是在基板的表面上形成有圖案的情況下，根據圖案的朝向與剝離方向間的相對方向關系，從基板的表面出去附著物的除去率以及圖案的損傷抑制性能有很大不同。這是由本申請發明人提出的見解，在本發明中基于該見解以如下方式構成，來獲取除去率以及損傷抑制性能的穩定化。即，在本發明中，沿著基板的表面向不與圖案的朝向垂直的方向剝離粘接構件。因此，穩定地發揮優異的附著物的除去率以及損傷抑制性能，并清洗基板的表面。此外，優選將粘接構件的剝離方向與圖案的朝向所成的角度設定為70°以下。

在此，也可以設置：檢測單元，檢測基準部；控制部，通過基于由檢測單元檢測到基準部的時刻的圖案的朝向，變更粘接構件的剝離方向，和/或，使基板旋轉，由此調整粘接構件的剝離方向與圖案的朝向所成的角度。通過追加這些結構要素，能夠將粘接構件的剝離方向可靠地設定在不與圖案的朝向垂直的方向上。

另外，檢測基準部的檢測單元的結構是任意的，但是也例如可以在基板被基板保持部保持的狀態下，檢測單元檢測基準部。在該情況下，在基板被基板保持部保持的狀態下，檢測基準部，優化剝離方向，以及進行剝離動作，因此能夠在短的節拍時間內穩定地進行基板清洗。另外，在該情況下，也可以通過旋轉部使基板保持部旋轉，使被基板保持部保持的基板旋轉，來優化圖案的朝向與剝離方向間的相對方向關系。通過這樣的結構，能夠固定通過清洗部進行剝離的剝離方向，能夠使清洗部的結構簡單。當然，也可以以粘接構件的剝離方向自由變更的方式構成清洗部，通過變更粘接構件的剝離方向，來調整粘接構件的剝離方向與圖案的朝向所成的角度。

另外，也可以將基板保持部和檢測單元彼此分離配置，通過基板搬運部將基板從檢測單元搬運至基板保持部。通過采用這樣的結構，提高裝置各部的設計自由度，并且能夠一邊對被基板保持部保持的基板執行清洗處理，一邊通過檢測單元對該基板的下一基板檢測基準部，從而能夠提高整個裝置的生產量。

此外，在這樣從基板保持部分離檢測單元的情況下，也可以在檢測單元設置保持基板并使基板旋轉的旋轉保持部和檢測被旋轉保持部保持的基板的基準部的檢測部；在通過基板搬運部向基板保持部搬運基板之前，使被旋轉保持部保持的基板旋轉，來調整粘接構件的剝離方向與圖案的朝向所成的角度。這樣能夠在向基板保持部搬運之前預先優選剝離方向。