[發明專利]基板處理裝置以及基板處理方法

無效

• 申請號: 201210367396.4
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN103028583A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 北川廣明;宮勝彥
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B08B11/00
• 分類號: B08B11/00;B08B11/04
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;郭曉東

1.一種基板處理裝置，以相對于基板的基準部具有規定的位置關系的方式，清洗形成有圖案的上述基板的表面，其特征在于，具有：

基板保持部，保持上述基板；

清洗部，使粘接構件與被上述基板保持部保持的上述基板的表面抵接，并沿著上述基板的表面向不與上述圖案的朝向垂直的方向剝離上述粘接構件，由此清洗上述基板的表面。

2.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述粘接構件的剝離方向與上述圖案的朝向所成的角度為70°以下。

3.根據權利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于，具有：

檢測單元，檢測上述基準部；

控制部，基于由上述檢測單元檢測到上述基準部的時刻的上述圖案的朝向，變更上述粘接構件的剝離方向，和/或，使上述基板旋轉，由此調整上述粘接構件的剝離方向與上述圖案的朝向所成的角度。

4.根據權利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于，在上述基板被上述基板保持部保持的狀態下，上述檢測單元檢測上述基準部。

5.根據權利要求4所述的基板處理裝置，其特征在于，

還具有旋轉部，該旋轉部使上述基板保持部旋轉，

上述清洗部固定上述粘接構件的剝離方向，

上述控制部通過控制上述旋轉部，使被上述基板保持部保持的上述基板旋轉，由此調整上述粘接構件的剝離方向與上述圖案的朝向所成的角度。

6.根據權利要求4所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述清洗部能夠自由變更上述粘接構件的剝離方向，

上述控制部通過控制上述清洗部，變更上述粘接構件的剝離方向，由此調整上述粘接構件的剝離方向與上述圖案的朝向所成的角度。

7.根據權利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于，還具有基板搬運部，該基板搬運部將上述基板從上述檢測單元搬運至上述基板保持部。

8.根據權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述檢測單元具有保持上述基板并使上述基板旋轉的旋轉保持部和檢測部，該檢測部檢測被上述旋轉保持部保持的上述基板的上述基準部，

在通過上述基板搬運部向上述基板保持部搬運基板之前，上述控制部通過控制上述旋轉保持部，使被上述旋轉保持部保持的上述基板旋轉，由此調整上述粘接構件的剝離方向與上述圖案的朝向所成的角度。

9.一種基板處理方法，以相對于基板的基準部具有規定的位置關系的方式，清洗形成有圖案的上述基板的表面，其特征在于，包括：

保持工序，將上述基板保持于基板保持部；

抵接工序，使粘接構件與被上述基板保持部保持的基板的表面抵接；

剝離工序，沿著上述基板的表面向不與上述圖案的朝向垂直的方向剝離上述粘接構件，由此清洗上述基板的表面。