[發(fā)明專利]用于顯示裝置的基板及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210367213.9
• 申請(qǐng)日: 2012-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103035567A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金倫吾;林鐘千;劉宰顯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 樂(lè)金顯示有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/77
• 分類號(hào): H01L21/77;H01L27/12;G02F1/1362
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 呂俊剛;劉久亮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于顯示裝置的基板，更具體地，涉及一種用于識(shí)別在用于顯示裝置的基板上形成的精細(xì)圖案的移位程度（shift?level）的方法。

背景技術(shù)

作為用于代替作為早期的顯示裝置的陰極射線管的顯示裝置，液晶顯示裝置、等離子顯示面板和有機(jī)發(fā)光顯示裝置已被開(kāi)發(fā)。

通過(guò)在基板上形成諸如薄膜晶體管之類的各種精細(xì)圖案來(lái)制造顯示裝置，并且各種測(cè)試工藝被執(zhí)行，以確定在顯示裝置的制造過(guò)程期間或者在完成了制造過(guò)程之后在顯示裝置中是否存在缺陷。

作為顯示裝置的測(cè)試工藝之一，提供了一種用于識(shí)別基板上形成的精細(xì)圖案的移位程度的處理。

以下，將參照附圖描述根據(jù)相關(guān)技術(shù)的用于識(shí)別在用于顯示裝置的基板上形成的精細(xì)圖案的移位程度的方法。

圖1A和圖1B是示出根據(jù)相關(guān)技術(shù)的用于識(shí)別精細(xì)圖案的移位程度的方法的平面圖。

在描述詳細(xì)的工藝之前，將參照?qǐng)D1A和圖1B簡(jiǎn)要描述整個(gè)基板的布局。可在基板1上形成多個(gè)有源區(qū)域10（例如，兩個(gè)有源區(qū)域10）。各個(gè)有源區(qū)域通過(guò)劃線工藝被切割，然后構(gòu)成顯示裝置的面板。

構(gòu)成顯示裝置的面板的多個(gè)有源區(qū)域10中的每一個(gè)均設(shè)置有各種圖案11和12，并且在所述多個(gè)有源區(qū)域10的外面形成交疊圖案21和22，以識(shí)別圖案11和12的移位程度。

以下，將更詳細(xì)地描述每一工藝。

首先，如圖1A所示，第一圖案11形成在基板1的有源區(qū)域10上，同時(shí)，第一交疊圖案21形成在有源區(qū)域10之外。

第一圖案11的示例可包括以程度方向設(shè)置的選通線，第一交疊圖案21可形成為例如正方形結(jié)構(gòu)。

可通過(guò)諸如光刻之類的圖案形成工藝形成第一圖案11和第一交疊圖案21。在這種情況下，可通過(guò)使用與第一圖案11和第一交疊圖案21相應(yīng)的第一掩膜圖案同時(shí)形成第一圖案11和第一交疊圖案21。

接著，如圖1B所示，在基板1的有源區(qū)域10上形成第二圖案12，并同時(shí)在有源區(qū)域10的外部形成第二交疊圖案22。

第二圖案12的示例可包括沿垂直方向設(shè)置的數(shù)據(jù)線，第二交疊圖案22可形成為例如在第一交疊圖案21內(nèi)設(shè)置的正方形結(jié)構(gòu)。

可通過(guò)諸如光刻之類的圖案形成工藝形成第二圖案12和第二交疊圖案22。在這種情況下，可通過(guò)使用與第二圖案12和第二交疊圖案22相應(yīng)的第二掩膜圖案同時(shí)形成第二圖案12和第二交疊圖案22。

根據(jù)前面提到的相關(guān)技術(shù)方法，通過(guò)利用形成在有源區(qū)域10的外部的第一交疊圖案21和第二交疊圖案22來(lái)識(shí)別第一圖案11和第二圖案12的移位程度。

換句話講，由于同時(shí)通過(guò)使用第一掩膜圖案形成第一圖案11和第一交疊圖案21，所以如果發(fā)生了諸如第一掩膜圖案的未對(duì)準(zhǔn)之類的工藝誤差，則第一圖案11和第一交疊圖案21可以以相同程度移位。

另外，由于同時(shí)通過(guò)使用第二掩膜圖案形成第二圖案12和第二交疊圖案22，所以如果發(fā)生了諸如第二掩膜圖案的未對(duì)準(zhǔn)的工藝誤差，則第二圖案12和第二交疊圖案22可以以相同程度移位。

由于第一圖案11和第二圖案12精細(xì)地形成在有源區(qū)域10內(nèi)，所以不容易識(shí)別第一圖案11和第二圖案12的移位程度。因此，通過(guò)第一交疊圖案21的移位程度來(lái)識(shí)別第一圖案11的移位程度，并通過(guò)第二交疊圖案22的移位程度來(lái)識(shí)別第二圖案12的移位程度。

然而，上面提到的相關(guān)技術(shù)方法具有如下問(wèn)題。

根據(jù)相關(guān)技術(shù)方法，如果發(fā)生了工藝誤差，則認(rèn)為第一圖案11的移位程度與第一交疊圖案21的移位程度相同，以及第二圖案12的移位程度與第二交疊圖案22的移位程度相同。然而，第一圖案11的移位程度實(shí)際上與第一交疊圖案21的移位程度不相同，第二圖案12的移位程度實(shí)際上與第二交疊圖案22的移位程度不相同。

換句話講，即使因?yàn)榈谝唤化B圖案21和第二交疊圖案22之間沒(méi)有發(fā)生移位而確定第一圖案11和第二圖案12被正確地形成，但可能通過(guò)后面的精確的測(cè)試工藝確定第一圖案11和第二圖案12沒(méi)有被正確地形成。

為此，如果使用第一交疊圖案21和第二交疊圖案22的移位程度來(lái)確定第一圖案11和第二圖案12的移位程度，則在確定所述移位程度中可能出現(xiàn)誤差。

另外，根據(jù)相關(guān)技術(shù)方法，第一交疊圖案21和第二交疊圖案22形成在構(gòu)成顯示面板的面板的有源區(qū)域10的外部。因此，由于在劃線工藝之后在面板上不存在第一交疊圖案21和第二交疊圖案22，所以出現(xiàn)了在面板的狀態(tài)下不能使用第一交疊圖案21和第二交疊圖案22的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容