[發明專利]用于顯示裝置的基板及其制造方法有效
| 申請號: | 201210367213.9 | 申請日: | 2012-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN103035567A | 公開(公告)日: | 2013-04-10 |
| 發明(設計)人: | 金倫吾;林鐘千;劉宰顯 | 申請(專利權)人: | 樂金顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/77 | 分類號: | H01L21/77;H01L27/12;G02F1/1362 |
| 代理公司: | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人: | 呂俊剛;劉久亮 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 顯示裝置 及其 制造 方法 | ||
1.一種制造用于顯示裝置的基板的方法,所述方法包括以下步驟:
在所述基板的有源區域內形成第一圖案,并同時在所述有源區域的角區域形成第一交疊圖案;以及
在所述基板的所述有源區域內形成第二圖案,并同時在所述有源區域的角區域形成第二交疊圖案,
其中,所述第一交疊圖案包括沿預定方向設置的標度,并且所述第二交疊圖案包括沿所述預定方向設置的標度以面對所述第一交疊圖案的標度。
2.如權利要求1所述的方法,其中,所述第一交疊圖案包括:第一子圖案,其具有沿第一方向設置的標度;以及第二子圖案,其具有沿與第一方向不同的第二方向設置的標度,
其中,所述第二交疊圖案包括:第三子圖案,其具有沿所述第一方向設置的標度;以及第四子圖案,其具有沿所述第二方向設置的標度,并且
其中,所述第一子圖案和所述第三子圖案彼此對稱地相面對,所述第二子圖案和所述第四子圖案彼此對稱地相面對。
3.如權利要求1所述的方法,其中,所述第一交疊圖案還包括所述標度的編號、所述編號的符號和表示所述第一圖案的標題中的至少一個,并且
其中,所述第二交疊圖案還包括所述標度的編號、所述編號的符號和表示所述第二圖案的標題中的至少一個。
4.如權利要求1所述的方法,其中,在所述有源區域內的一個角區域形成多個所述第一交疊圖案。
5.如權利要求1所述的方法,其中,所述第一圖案包括選通圖案,所述第一交疊圖案包括選通交疊圖案,并且
其中,所述第二圖案包括數據圖案,所述第二交疊圖案包括數據交疊圖案。
6.如權利要求1所述的方法,其中,所述第一圖案包括選通圖案,所述第一交疊圖案包括選通交疊圖案,并且
其中,所述第二圖案包括像素電極圖案,所述第二交疊圖案包括像素交疊圖案。
7.一種用于顯示裝置的基板,所述基板包括:
第一圖案和第二圖案,它們形成在所述基板的有源區域內;
第一交疊圖案,其形成在所述有源區域的角區域,并由與所述第一圖案的材料相同的材料制成;以及
第二交疊圖案,其形成在所述有源區域的角區域,并由與所述第二圖案的材料相同的材料制成,
其中,所述第一交疊圖案包括沿預定方向設置的標度,并且所述第二交疊圖案包括沿所述預定方向設置的標度以面對所述第一交疊圖案的標度。
8.如權利要求7所述的基板,其中,所述第一交疊圖案包括:第一子圖案,其具有沿第一方向設置的標度;以及第二子圖案,其具有沿與第一方向不同的第二方向設置的標度,
其中,所述第二交疊圖案包括:第三子圖案,其具有沿所述第一方向設置的標度;以及第四子圖案,其具有沿所述第二方向設置的標度,并且
其中,所述第一子圖案和所述第三子圖案彼此對稱地相面對,所述第二子圖案和所述第四子圖案彼此對稱地相面對。
9.如權利要求7所述的基板,其中,所述第一交疊圖案還包括所述標度的編號、所述編號的符號和表示所述第一圖案的標題中的至少一個,并且
其中,所述第二交疊圖案還包括所述標度的編號、所述編號的符號和表示所述第二圖案的標題中的至少一個。
10.如權利要求7所述的基板,其中,在所述有源區域內的一個角區域形成多個所述第一交疊圖案。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





