[發(fā)明專利]晶圓控制方法以及晶圓控制設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210366856.1
• 申請(qǐng)日: 2012-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN102881560A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜廷衛(wèi)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種晶圓控制方法，其特征在于包括：

晶圓位置檢測(cè)步驟，用于利用位置傳感器檢測(cè)期望位置處是否布置了晶圓或者晶圓位置偏差；

檢測(cè)結(jié)果判斷步驟，用于根據(jù)晶圓位置檢測(cè)步驟的檢測(cè)結(jié)果判斷期望位置處是否布置了晶圓或者晶圓位置偏差；

在所述檢測(cè)結(jié)果判斷步驟的判斷結(jié)果是肯定判定的情況下執(zhí)行的傳輸工具抓取步驟，用于利用操作工作抓取所述期望位置處的晶圓；以及

在所述檢測(cè)結(jié)果判斷步驟的判斷結(jié)果是否定判定的情況下執(zhí)行的傳輸工具暫停步驟，用于使得傳輸工具暫停抓取晶圓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓控制方法，其特征在于，在所述晶圓位置檢測(cè)步驟中，利用發(fā)光二極管以及感光元件來檢測(cè)期望位置處是否布置了晶圓。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓控制方法，其特征在于，所述傳輸工具是機(jī)械臂。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓控制方法，其特征在于，如果所述檢測(cè)結(jié)果判斷步驟的判斷結(jié)果是否定判定，發(fā)出警報(bào)消息。

5.一種晶圓控制設(shè)備，其特征在于包括：

傳輸工具，用于抓取并轉(zhuǎn)移晶圓；

晶圓位置檢測(cè)裝置，用于利用位置傳感器檢測(cè)期望位置處是否布置了晶圓或者晶圓位置偏差；以及

檢測(cè)結(jié)果判斷裝置，用于根據(jù)晶圓位置檢測(cè)步驟的檢測(cè)結(jié)果判斷期望位置處是否布置了晶圓或者晶圓位置偏差；

其中，在檢測(cè)結(jié)果判斷裝置的判斷結(jié)果是肯定判定的情況下，所述晶圓控制設(shè)備利用操作工作抓取所述期望位置處的晶圓；以及

在檢測(cè)結(jié)果判斷裝置的判斷結(jié)果是否定判定的情況下所晶圓控制設(shè)備使得傳輸工具暫停抓取晶圓。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓控制設(shè)備，其特征在于，所述晶圓位置檢測(cè)裝置包括發(fā)光二極管以及感光元件。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的晶圓控制設(shè)備，其特征在于，所述傳輸工具是機(jī)械臂。

8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的晶圓控制設(shè)備，其特征在于，如果所檢測(cè)結(jié)果判斷步驟的判斷結(jié)果是否定判定，所述晶圓控制設(shè)備發(fā)出警報(bào)消息。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓控制設(shè)備，其特征在于，所述發(fā)光二極管置于所述期望位置處，所述感光元件與所述發(fā)光二極管相對(duì)布置，從而在所述感光元件與所述發(fā)光二極管之間沒有遮擋時(shí)，所述感光元件可接到所述發(fā)光二極管發(fā)射的光。