[發(fā)明專利]處理基板的方法和設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210365972.1
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN103029436A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樸鐵鎬
• 申請（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01;B41J3/407;B41J11/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術(shù)領(lǐng)域

此處公開的本發(fā)明涉及處理基板的設(shè)備和方法，更特別地，涉及執(zhí)行直接書寫類型的印刷工藝（direct?write?type?printing?processes）的設(shè)備和方法。

背景技術(shù)

用于制造在印刷電路板（PCB）或平板顯示器（FPD）中使用的電路線路的光刻工藝正漸增地被直接書寫類型的印刷工藝替代。

由于電路線路直接形成在基板上，直接書寫類型的印刷工藝簡單并能提供高的基板生產(chǎn)量。此外，與光刻工藝不同，直接書寫類型的印刷工藝由于化學(xué)制品的使用被最小化，因而是環(huán)境友好的。然而，由于精確控制油墨的厚度困難，直接書寫類型的印刷工藝的使用受到限制。

此外，最近引入的電動液壓方法使得控制在具有微小厚度的液柱中的油墨成為可能。這樣，直接書寫類型的印刷工藝可使用在典型的PCB或FPD的制造工藝中，并且，進(jìn)一步地將使用在半導(dǎo)體裝置的制造工藝中。

[專利文件]

韓國專利登記號10-1000715（2010年12月6日登記）

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供通過單個工藝在基板上形成和固化線路的處理基板的設(shè)備和方法。

然而，本發(fā)明并不限于此，因而，本領(lǐng)域技術(shù)人員從下面的說明及附圖將清楚地理解此處沒有說明的其他的處理基板的設(shè)備和方法。

本發(fā)明實(shí)施例提供基板處理設(shè)備，包括：平臺，在所述平臺上放置基板；排放單元，所述排放單元排放油墨以在放置在所述平臺上的所述基板上形成線路；固化單元，所述固化單元固化所排放的油墨；和傳送單元，所述傳送單元移動所述平臺或移動所述排放單元及所述固化單元。

在一些實(shí)施例中，所述排放單元和所述固化單元可在所述平臺上方沿所述排放單元和所述固化單元的移動方向排列成直線。

在其他實(shí)施例中，所述固化單元可包括發(fā)出光線的照射部件。

仍在其他實(shí)施例中，所述照射部件可提供為多個，并且所述照射部件可與線路一一對應(yīng)，以發(fā)出光線到所述線路上。

還在其他實(shí)施例中，所述照射部件可提供為具有與所有線路的寬度對應(yīng)的寬度的狹縫形態(tài)，并且發(fā)出光線到與所述所有線路的寬度對應(yīng)的區(qū)域。

還在其他實(shí)施例中，所述照射部件可在從垂直向下的方向向其移動方向傾斜的方向上發(fā)出光線。

在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述照射部件可發(fā)出激光或者紫外線。

在更進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述固化單元可包括加熱部件，所述加熱部件產(chǎn)生熱量。

又在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述固化單元可包括噴射部件，所述噴射部件用于噴射高溫不熔微粒或高溫氣體。

又在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述排放單元可包括噴嘴，所述噴嘴中的每個排放所述油墨。

在更進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述基板處理設(shè)備還可包括供電設(shè)備，所述供電設(shè)備施加高壓到所述排放單元，其中所述噴嘴提供為微小針形態(tài)，并使用電流體動力學(xué)方法根據(jù)所述高壓排放成液柱形狀的油墨。

又在更進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述基板處理設(shè)備還可包括旋轉(zhuǎn)單元，所述旋轉(zhuǎn)單元旋轉(zhuǎn)所述平臺。

還在更進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述油墨可為導(dǎo)電油墨。

在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，基板處理方法包括：將基板放置在平臺上；通過在所述平臺上方水平移動的排放單元排放油墨，以在放置在所述平臺上的所述基板上形成第一線路；和通過跟隨所述排放單元的固化單元固化所述排放的油墨。

在一些實(shí)施例中，在所述排放的油墨的固化過程中，可向所述排放的油墨發(fā)出光線以固化所述油墨。

在其他實(shí)施例中，在所述排放的油墨的固化過程中，可發(fā)出光線使得所述光線的束與所述第一線路一一對應(yīng)。

仍在其他實(shí)施例中，在所述排放的油墨的固化過程中，可向與所有所述第一線路的寬度對應(yīng)的區(qū)域發(fā)出光線。

又在其他實(shí)施例中，在所述排放的油墨的固化過程中，所述光線可在從垂直向下的方向向其移動方向傾斜的方向上發(fā)出。

還在其他實(shí)施例中，所述基板處理方法還可包括向所述排放單元施加高壓，其中在所述第一線路的形成過程中，包括在所述排放單元中且提供為微小針形態(tài)的噴嘴通過使用電流體動力學(xué)方法根據(jù)所述高壓噴射成液柱形狀的所述油墨。

在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述基板處理方法還可包括：旋轉(zhuǎn)所述平臺大約90度；通過在所述平臺上方水平移動的所述排放單元排放所述油墨，以形成垂直于在所述基板上形成的所述第一線路的第二線路；及通過跟隨所述排放單元的所述固化單元固化所述排放的油墨的所述第二線路。

附圖說明