[發明專利]層積有鈍化膜的基板的燒蝕加工方法有效
| 申請號： | 201210365826.9 | 申請日： | 2012-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN103028844B | 公開（公告）日： | 2017-03-01 |
| 發明（設計）人： | 北原信康 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/18 | 分類號： | B23K26/18;B23K26/362;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司11127 | 代理人： | 丁香蘭,褚瑤楊 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 層積 鈍化 加工 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種層積有鈍化膜的基板的燒蝕加工方法，其為對層積有由氮化物形成的鈍化膜的基板照射激光光束來施以燒蝕加工的層積有鈍化膜的基板的燒蝕加工方法，該方法的特征在于，其具備保護膜形成工序與激光加工工序，
保護膜形成工序中，將混入了對于激光光束的波長具有吸收性的氧化物微粉末的液態樹脂涂布至基板的至少要進行燒蝕加工的區域，來形成摻入有該微粉末的保護膜；
激光加工工序中，在實施了該保護膜形成工序之后，對基板的形成了該保護膜的區域照射激光光束來施以燒蝕加工。
2.如權利要求1所述的層積有鈍化膜的基板的燒蝕加工方法，其特征在于，所述氧化物微粉末的平均粒徑小于激光光束的光斑徑。
3.如權利要求1或2的任一項所述的層積有鈍化膜的基板的燒蝕加工方法，其特征在于，所述激光光束的波長為355nm以下；所述氧化物微粉末含有選自由Fe2O3、ZnO、TiO2、CeO2、CuO、Cu2O和MgO組成的組中的金屬氧化物；所述液態樹脂含有聚乙烯醇。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社迪思科，未經株式會社迪思科許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210365826.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：輪胎車輪組裝體
- 下一篇：一種槽式螺旋輸料系統
