[發明專利]玻璃基板層疊工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法

無效

• 申請號: 201210364885.4
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN103009241A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 山先達也;赤堀正憲;坂本高志
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/07
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

技術領域

本發明涉及玻璃基板層疊工具、使用了該工具的磁記錄介質用玻璃基板的端面研磨方法及使用了該端面研磨方法的磁記錄介質用玻璃基板的制造方法。

背景技術

磁盤記錄裝置等所使用的圓盤形狀的磁盤以往使用鋁合金基板。但是近年來，隨著高密度記錄化的要求，比鋁合金基板硬且平面性和平滑性優異的玻璃基板成為主流。

磁記錄介質用玻璃基板在其制造工序中，有對玻璃基板的平面及端面（內外周面）實施磨削、研磨等加工的加工工序。而且，作為提高在對玻璃基板的端面進行研磨時的作業效率的方法，使用形成將多片玻璃基板在面方向上重疊而成的玻璃基板層疊體并同時對多個玻璃基板的端面進行研磨的方法。

玻璃基板的端面研磨對外周面和內周面兩方進行。因此，如上所述對玻璃基板層疊體進行研磨時，以往，暫時在外周端面研磨用工具上層疊玻璃基板，進行外周端面研磨，之后，暫時將玻璃基板層疊體解體，在內周端面研磨用工具上再次層疊玻璃基板，然后進行內周端面研磨。

然而，根據該方法，在外周端面研磨和內周端面研磨的工序之間，需要將玻璃層疊體解體，存在再次層疊的操作時的操作失誤、或當再次層疊玻璃基板時由于在玻璃基板之間夾有異物而對玻璃基板造成損傷的情況。另外，由于工序數量較多，生產率上也存在問題。

為了解決該問題，對無需將玻璃基板層疊體解體即可連續進行外周端面研磨和內周端面研磨的工具進行了研究（例如專利文獻1）。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本國特開2003-159639號公報

但是，在專利文獻1中，通過螺栓固定將玻璃基板沿著上下設置的板，成為夾住玻璃基板的結構，因此存在要花費工夫裝配裝置并容易產生裝配誤差的問題。而且，由于部件較多，在維護性上也存在問題。

而且，在專利文獻1中，當對玻璃基板層疊體的外端部進行研磨時，將第一板接觸玻璃基板層疊體的兩端部，通過插通玻璃基板層疊體的內孔的第一板連結件，固定第一板而夾緊玻璃基板。然而，由于第一板連結件的直徑比玻璃基板層疊體的內孔的直徑小，因此在研磨工序中，玻璃基板有可能錯位。此時，也有可能產生得到的玻璃基板的同心度降低、玻璃基板的圓孔部（內周部）或外周部的圓度降低等有關加工精度的問題。

發明內容

本發明鑒于上述現有技術具有的問題，其目的在于提供一種玻璃基板層疊工具，能夠提高端面研磨工序中的加工精度、生產率，容易操作，而且，無需將玻璃基板層疊體解體即可進行外周端面研磨和內周端面研磨。

為了解決上述課題，本發明提供一種玻璃基板層疊工具，用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內周端面研磨，其特征在于，具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內周端面，進行所述磁記錄介質用玻璃基板的對位，所述軸具備：緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端嵌合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體。

發明效果

本發明在形成玻璃基板層疊體時通過軸支撐內周端面，因此能夠高精度地設置、固定磁記錄介質用玻璃基板（以下也簡稱為“玻璃基板”）。因此，能夠提高加工精度，能夠提高得到的玻璃基板的同心度及圓度。而且，由于部件的件數較少，因此不易產生裝配誤差，也能夠使維護性提高。而且，即使在對內周端面及外周端面進行研磨時，也能夠不將玻璃基板層疊體解體而連續地進行，因此即使在對兩端面進行研磨時也能夠防止對玻璃基板產生損傷，提高成品率和生產率。

附圖說明

圖1是本發明所涉及的軸的說明圖。

圖2是本發明所涉及的第一實施方式中的外周端面研磨時的結構說明圖。

圖3是本發明所涉及的第一實施方式中的緊定螺栓的說明圖。

圖4是關于本發明所涉及的第一實施方式中的內周端面研磨工具的說明圖。

圖5是關于本發明所涉及的第一實施方式中的內周端面研磨工具的說明圖。

圖6（A）及6（B）是關于本發明所涉及的第一實施方式中的玻璃基板層疊體的說明圖。

附圖標記

10軸

12軸固定部

13緊定螺栓嵌合部

25玻璃基板層疊體

26緊定螺栓

60玻璃基板

61墊片

具體實施方式

以下，參照附圖對用于實施本發明的方式進行說明，但本發明并未限定于下述實施方式，在不脫離本發明的范圍的情況下能夠對下述實施方式加以各種變形及替代。