[發明專利]玻璃基板層疊工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法

無效

• 申請號: 201210364885.4
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN103009241A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 山先達也;赤堀正憲;坂本高志
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/07
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

1.一種玻璃基板層疊工具，用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內周端面研磨，其特征在于，

具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內周端面，進行所述磁記錄介質用玻璃基板的對位，

所述軸具備：緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端嵌合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板層疊工具，其中，

所述玻璃基板層疊工具在進行所述玻璃基板層疊體的外周端面研磨時具有能夠與所述緊定螺栓嵌合部嵌合的緊定螺栓。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板層疊工具，其中，

所述玻璃基板層疊工具在進行所述玻璃基板層疊體的內周端面研磨時還具有內周端面研磨工具，該內周端面研磨工具為能夠將所述玻璃基板層疊體固定在內部的結構，

所述內周端面研磨工具在將所述玻璃基板層疊體固定在所述內周端面研磨工具的內部后能夠抽出所述軸。

4.根據權利要求1~3中任意一項所述的玻璃基板層疊工具，其中，

在所述緊定螺栓的一方的端部凸出設置有軸嵌合部，

所述軸嵌合部從前端部開始依次具有未形成螺紋牙的凸型圓筒部及螺紋部，

所述緊定螺栓嵌合部具有與軸嵌合部的形狀相對應的凹型圓筒部及螺紋部，

所述凸型圓筒部與所述凹型圓筒部以相互嵌合的方式構成。

5.根據權利要求1~4中任意一項所述的玻璃基板層疊工具，其中，

所述軸的至少與磁記錄介質用玻璃基板接觸的部分通過由類金剛石鍍膜構成的保護膜進行涂層。

6.一種磁記錄介質用玻璃基板的端面研磨方法，使用了權利要求1~5中任意一項所述的玻璃基板層疊工具，其中，

在保持有玻璃基板層疊體的所述軸的所述緊定螺栓嵌合部上安裝緊定螺栓，對所述玻璃基板層疊體的外周端面進行研磨，

將保持有玻璃基板層疊體的所述軸固定于內周端面研磨工具，在將所述玻璃基板層疊體固定于內周端面研磨工具后，抽出所述軸，對所述玻璃基板層疊體的內周端面進行研磨。

7.根據權利要求6所述的磁記錄介質用玻璃基板的端面研磨方法，其中，

所述玻璃基板層疊體交替層疊有磁記錄介質用玻璃基板和墊片。

8.根據權利要求7所述的磁記錄介質用玻璃基板的端面研磨方法，其中，

所述墊片為外徑比所述磁記錄介質用玻璃基板的外徑小且內徑比所述磁記錄介質用玻璃基板的圓孔直徑大的圓盤形狀。

9.根據權利要求6~8中任意一項所述的磁記錄介質用玻璃基板的端面研磨方法，其中，

在進行外周端面研磨后，進行內周端面研磨。

10.一種磁記錄介質用玻璃基板的制造方法，包括：

端面研磨工序，對磁記錄介質用玻璃基板的內周端面及外周端面進行研磨；

主平面研磨工序，對磁記錄介質用玻璃基板的主平面進行研磨；及

磁記錄介質用玻璃基板的清洗工序；其中，

所述端面研磨工序使用權利要求6~9中任意一項所述的磁記錄介質用玻璃基板的端面研磨方法來對磁記錄介質用玻璃基板進行端面研磨。