[發明專利]潔凈室及其自動清潔盒

有效

• 申請號: 201210364804.0
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN102861737A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 陳增宏;吳俊豪;林昆賢;齊明虎;郭振華;楊衛兵
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B5/04;B08B13/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦

技術領域

本發明涉及液晶面板生產制造技術領域，特別是涉及一種潔凈室及其自動清潔盒。

背景技術

液晶面板是由玻璃基板經過多道制程制作而成，玻璃基板在各個制程和各道檢測工藝中，都需在無塵環境下完成。液晶面板制造行業中，玻璃面板存儲于潔凈室（Stocker）中，通過自動化搬運設備使玻璃基板完成各個制程和各道檢測，而潔凈室內如泄漏粒子（Particle）將對玻璃制程和檢測有很大影響，會造成液晶面板良率下降。

目前對于潔凈室粒子監測，可以通過粒子監測單元來量測各潔凈室內粒子的變化狀況，然而由于粒子監測單元會接觸泄漏粒子的地方，經過長期使用后，粒子會累積在粒子監測單元上，此時需要人工定期清潔粒子監測單元，以保證粒子監測單元監控數據的準確性，然而人工清潔粒子監測單元花費時間較長，嚴重影響液晶面板的生產效率。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種潔凈室，以解決現有技術中人工清潔粒子監測單元花費時間較長的問題。

為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是：提供一種潔凈室，用于存放玻璃基板，該潔凈室內設有粒子監測單元，該潔凈室內還設有自動清潔盒，該自動清潔盒用于對該粒子監測單元進行清潔。

根據本發明一優選實施例，該潔凈室內設有儲位架，該儲位架包括多個儲位，該多個儲位包括：

卡匣儲位，用于存放卡匣，該卡匣用于存放該玻璃基板；

自動清潔儲位，用于放置該自動清潔盒。

根據本發明一優選實施例，該自動清潔盒包括：

盒體，該盒體內壁設有多個吹吸氣嘴；

盒蓋，封閉該盒體以形成清潔空間；

控制單元，用于控制該多個吹吸氣嘴進行吹吸工作及控制該盒蓋打開或關閉。

根據本發明一優選實施例，該盒蓋為卷簾。

根據本發明一優選實施例，該粒子監測單元包括：

粒子計數器，用于監測粒子數量；

無線通信模塊，與該粒子計數器電連接，用于與外部監控中心保持通信；

電源，與粒子計數器和該無線通信模塊電連接，用于向粒子計數器和該無線通信模塊供電。

根據本發明一優選實施例，該粒子監測單元還包括卡匣框架，該卡匣框架與該卡匣儲位相匹配，用于固定該粒子計數器、該無線通信模塊以及該電源。

根據本發明一優選實施例，該潔凈室內設有自動化搬運設備，該自動化搬運設備用于搬運該卡匣及該粒子監測單元。

根據本發明一優選實施例，該自動化搬運設備包括搬運叉，該搬運叉用于叉取卡匣及該粒子監測單元。

為解決上述技術問題，本發明采用的另一個技術方案是：提供一種自動清潔盒，用于在潔凈室中對粒子監測單元及卡匣進行清潔，其特征在于，該自動清潔盒包括：

盒體，該盒體內壁設有多個吹吸氣嘴；

盒蓋，封閉該盒體以形成清潔空間；

控制單元，用于控制該多個吹吸氣嘴進行吹吸工作及控制該盒蓋打開或關閉。

本發明的有益效果是：區別于現有技術的情況，本發明提供的潔凈室中增設有自動清潔盒，可以在潔凈室內部對卡匣和粒子監測單元進行清潔，其方便快捷，有效地降低了人力成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖，其中：

圖1為根據本發明一優選實施例的潔凈室的立體結構示意圖；

圖2為圖1中所示的潔凈室的前視截面示意圖；

圖3為圖1中所示的粒子監測單元的結構示意圖；

圖4為圖3中所示的粒子監測單元的模塊示意圖；

圖5為圖3中所示的粒子監測單元受污染的示意圖；

圖6為圖1中所示的自動清潔盒的立體結構示意圖；

圖7為圖6中所示的自動清潔盒的工作狀態圖一；。

圖8為圖6中所示的自動清潔盒的工作狀態圖二；

圖9為圖6中所示的自動清潔盒的工作狀態圖三。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。