[發明專利]潔凈室及其自動清潔盒

有效

• 申請號: 201210364804.0
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN102861737A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 陳增宏;吳俊豪;林昆賢;齊明虎;郭振華;楊衛兵
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B5/04;B08B13/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦

1.一種潔凈室，用于存放玻璃基板，所述潔凈室內設有粒子監測單元，其特征在于，所述潔凈室內還設有自動清潔盒，所述自動清潔盒用于對所述粒子監測單元進行清潔。

2.根據權利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈室內設有儲位架，所述儲位架包括多個儲位，所述多個儲位包括：

卡匣儲位，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板；

自動清潔儲位，用于放置所述自動清潔盒。

3.根據權利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述自動清潔盒包括：

盒體，所述盒體內壁設有多個吹吸氣嘴；

盒蓋，封閉所述盒體以形成清潔空間；

控制單元，用于控制所述多個吹吸氣嘴進行吹吸工作及控制所述盒蓋打開或關閉。

4.根據權利要求3所述的潔凈室，其特征在于，所述盒蓋為卷簾。

5.根據權利要求2所述的潔凈室，其特征在于，所述粒子監測單元包括：

粒子計數器，用于監測粒子數量；

無線通信模塊，與所述粒子計數器電連接，用于與外部監控中心保持通信；

電源，與所述粒子計數器和所述無線通信模塊電連接，用于向所述粒子計數器和所述無線通信模塊供電。

6.根據權利要求5所述的潔凈室，其特征在于，所述粒子監測單元還包括卡匣框架，所述卡匣框架與所述卡匣儲位相匹配，用于固定所述粒子計數器、所述無線通信模塊以及所述電源。

7.根據權利要求2所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈室內設有自動化搬運設備，所述自動化搬運設備用于搬運所述卡匣及所述粒子監測單元。

8.根據權利要求7所述的潔凈室，其特征在于，所述自動化搬運設備包括搬運叉，所述搬運叉用于叉取卡匣及所述粒子監測單元。

9.一種自動清潔盒，用于在潔凈室中對粒子監測單元及卡匣進行清潔，其特征在于，所述自動清潔盒包括：

盒體，所述盒體內壁設有多個吹吸氣嘴；

盒蓋，封閉所述盒體以形成清潔空間；

控制單元，用于控制所述多個吹吸氣嘴進行吹吸工作及控制所述盒蓋打開或關閉。

10.根據權利要求9所述的自動清潔盒，其特征在于，所述盒蓋為卷簾。