[發明專利]透明導電膜卷繞鍍膜裝置及其使用方法

有效

• 申請號: 201210363929.1
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN102877038A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 江成軍;夏國濤;李章國;鐘欣;柳錫運
• 申請（專利權）人: 深圳南玻顯示器件科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 劉誠;鄧云鵬

1.一種透明導電膜卷繞鍍膜裝置，包括依次相連的放卷室、鍍膜室、收卷室以及真空獲得系統，所述放卷室將柔性基材運送到所述鍍膜室內鍍膜，形成透明導電膜，所述收卷室用于接收所述透明導電膜，所述真空獲得系統安裝于所述鍍膜室，用于獲得鍍膜所需的真空狀態，其特征在于，所述透明導電膜卷繞鍍膜裝置還包括控制系統，所述控制系統包括：

氣體分析儀，設于所述鍍膜室內，用于分析所述鍍膜室內的氣體成分和含量；

真空計，設于所述鍍膜室內，用于測量所述鍍膜室內的氣壓；

氣體流量計，設于所述鍍膜室的進氣管道上，用于控制所述鍍膜室的進氣量；

張力控制系統，設于放卷室、鍍膜室及收卷室內，用于控制柔性基材的平穩運行；及

計算機，與所述在線氣體分析儀、真空計及氣體流量計相連。

2.根據權利要求1所述的透明導電膜卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述控制系統還包括設于所述鍍膜室內并與所述計算機相連的在線電阻儀，用于實時檢測透明導電膜的電阻值。

3.根據權利要求1所述的透明導電膜卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述控制系統還包括設于所述鍍膜室內并與所述計算機相連的在線透過率測試儀，用于實時檢測透明導電膜的透過率。

4.一種如權利要求1所述的透明導電膜卷繞鍍膜裝置的使用方法，其特征在于，包括如下步驟：

基材從所述放卷室進入所述鍍膜室進行鍍膜；

根據所述在線氣體分析儀和所述真空計的測量結果確定所述鍍膜室內雜質氣體的含量；

當所述計算機判斷所述雜質氣體的含量增加時，所述氣體流量計減少所述鍍膜室工藝氣體的進氣量，當所述計算機判斷所述雜質氣體的含量減少時，所述氣體流量計增加所述鍍膜室工藝氣體的進氣量；及

將鍍膜后形成的透明導電膜送入所述收卷室。