[發(fā)明專利]激光輸出調(diào)整裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210361905.2
• 申請日: 2012-09-25
• 公開（公告）號: CN103028840A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭薰;尹星進(jìn);金俊來;李倫在;金鉉洙;池泳洙
• 申請（專利權(quán)）人: 燦美工程股份有限公司
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06
• 代理公司: 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種激光輸出調(diào)整裝置及方法。具體為，通過由第一測定部和第二測定部對在激光部生成的激光光束進(jìn)行測定，可容易地對照射在基板上的激光光束的輸出能量進(jìn)行調(diào)整的激光輸出調(diào)整裝置及方法。

背景技術(shù)

近年來，隨著平板顯示器裝置，尤其是在液晶顯示器（LCD）的需求的增加和大型化的趨勢，其應(yīng)用程度、尺寸增大及分辨率增加的速度也在加快，且為提高生產(chǎn)效率并實現(xiàn)價格的低廉化，在簡化制造工藝和提高收益率方面付出了很多努力。液晶顯示器的基本結(jié)構(gòu)，由形成有黑色矩陣、彩色濾光膜和共同電極的上部基板，及形成有像素區(qū)域、像素電極、開關(guān)元件和線路的下部基板，以及填充于所述上部基板和下述基板之間的液晶所構(gòu)成。

這種在下部基板上形成的結(jié)構(gòu)組成成分，導(dǎo)致在制造工藝中出現(xiàn)線路的斷線或短路等不良現(xiàn)象，且隨圖像元件顯示面積的大型化，這種缺陷也越來越多，因此，為提高液晶顯示器的質(zhì)量和穩(wěn)定性，需要可消除這些缺陷的修補(bǔ)（Repair）技術(shù)。

一直備受矚目的修補(bǔ)技術(shù)是，具備修補(bǔ)用的備用線路，在發(fā)生缺陷時，連接備用線路對斷線進(jìn)行修補(bǔ)的方法，但若修補(bǔ)線路過長時，信號水平會因線路電阻值而降低，從而對液晶面板的動作特性產(chǎn)生不利影響。

因此，最近較受歡迎的是使用激光化學(xué)氣相沉積法的修補(bǔ)線路法。即，基本上是采用在發(fā)現(xiàn)缺陷時，利用激光來切斷缺陷部位的某一部位，并通過化學(xué)氣相沉積法來沉積修補(bǔ)線路并形成圖案的方法，或是在線路斷線時，通過激光化學(xué)氣相沉積法（Laser?CVD）沉積金屬，從而使斷開的線路電連接的方式，進(jìn)而完成修補(bǔ)作業(yè)。這種激光化學(xué)氣相沉積法修補(bǔ)方法的優(yōu)點在于，斷線時可立即在斷線部位按所期望的形狀生長金屬線路，其修補(bǔ)工藝簡單，且可進(jìn)行包括光柵線路和數(shù)據(jù)線路在內(nèi)的各種修補(bǔ)作業(yè)。而且，激光化學(xué)氣相沉積法不僅可修補(bǔ)基板的缺陷，還可用于微細(xì)線路的沉積工藝。

參照圖1，現(xiàn)有的激光化學(xué)氣相沉積法裝置中，在激光部100生成的激光光束10經(jīng)過光學(xué)部200，在從加工部300照射到基板20的過程中，由加工部測定器310對其輸出值進(jìn)行測定。但激光光束10輸出能量減少的現(xiàn)象發(fā)生時，則很難判斷造成激光光束10輸出能量減少的部位。另外，還存在難以將減少的激光光束的輸出能量重新調(diào)整所需強(qiáng)度的難題。

另外，除了激光化學(xué)氣相沉積法裝置之外，對切斷發(fā)生短路的不良線路對缺陷進(jìn)行修補(bǔ)的一般激光裝置，及用激光照射顯示器的缺陷像素使其暗點化后對缺陷進(jìn)行修補(bǔ)的高像素修補(bǔ)（HPR）裝置等來說，準(zhǔn)確保持使用者所期望的激光輸出強(qiáng)度，在確保工藝可再現(xiàn)性和穩(wěn)定性方面，尤為重要。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明旨在解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的各種問題，目的在于提供一種在激光的沉積和修補(bǔ)工藝中，使激光光束的輸出能量始終保持一致的激光輸出調(diào)整裝置及方法。

此外，本發(fā)明的目的還在于，提供一種能夠容易識別出造成激光光束輸出能量減少的激光裝置組成部分的激光輸出調(diào)整裝置及方法。

另外，本方明的目的還在于，提供一種在激光加工時，可實時對激光光束的輸出能量進(jìn)行測定的激光輸出調(diào)整裝置及方法。

還有，本發(fā)明的目的在于，提供一種在工藝中激光光束的輸出能量出現(xiàn)異常時，可自動調(diào)整激光光束的輸出能量，以增強(qiáng)工藝可靠性和穩(wěn)定性的激光輸出調(diào)整裝置及方法。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的激光輸出調(diào)整裝置的特點在于，包括：激光部，生成激光光束；光學(xué)部，提供上述激光光束所經(jīng)過的路徑；加工部，使經(jīng)過上述光學(xué)部的激光光束照射到基板上；第一測定部，設(shè)置于上述激光部與上述光學(xué)部之間，用于測定在上述激光部生成的激光光束的輸出能量；第二測定部，設(shè)置于上述光學(xué)部內(nèi)，用于測定經(jīng)過上述光學(xué)部的激光光束的輸出能量；控制部，接收由上述第一測定部和上述第二測定部測定的激光光束的輸出信號，將信號傳送到上述激光部，從而調(diào)整在上述激光部生成的激光光束的輸出能量。

另外，為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的激光輸出調(diào)整方法的特點在于，在生成激光光束的激光部和提供激光光束所經(jīng)過的路徑的光學(xué)部之間設(shè)置第一測定部，并將在第一測定部上測定的在上述激光部生成的激光光束的輸出信號，和在設(shè)置于上述光學(xué)部內(nèi)部的第二測定部所測定的經(jīng)過上述光學(xué)部的激光光束的輸出信號發(fā)送至上述激光部，從而調(diào)整在上述激光部生成的激光光束的輸出能量。

如上所述，本發(fā)明提供的結(jié)構(gòu)的效果在于：在利用激光進(jìn)行沉積、修補(bǔ)的工藝中，可使所期望的激光光束的輸出能量始終保持一致。

此外，本發(fā)明的效果還在于：可容易地確定出造成激光光束輸出能量減少的激光裝置組成部分，