[發明專利]激光輸出調整裝置及方法

有效

• 申請號: 201210361905.2
• 申請日: 2012-09-25
• 公開（公告）號: CN103028840A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 鄭薰;尹星進;金俊來;李倫在;金鉉洙;池泳洙
• 申請（專利權）人: 燦美工程股份有限公司
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

1.一種激光輸出調整裝置，其特征在于，包括：

激光部，生成激光光束；

光學部，提供所述激光光束經過的路徑；

加工部，使經過所述光學部的激光光束照射到基板上；

第一測定部，設置于所述激光部與所述光學部之間，測定生成于所述激光部的激光光束的輸出能量；

第二測定部，設置于所述光學部的內部，測定經過所述光學部的激光光束的輸出能量；

控制部，接收由所述第一測定部和所述第二測定部測定的激光光束的輸出信號，將信號傳送到所述激光部，從而調整生成于所述激光部的激光光束的輸出能量。

2.根據權利要求1所述的激光輸出調整裝置，其特征在于：

當由所述第一測定部測定的激光光束的輸出能量小于預先設定的激光光束的輸出能量時，在所述控制部顯示所述激光部出現問題的同時，對生成于所述激光部的激光光束的輸出能量進行調整，以使所述第一測定部測定的激光光束的輸出能量與所述預先設定的激光光束的輸出能量一致，

當由所述第一測定部測定的激光光束的輸出能量與所述預先設定的激光光束的輸出能量一致，而由所述第二測定部測定的激光光束的數據小于所述預先設定的激光光束的輸出能量時，在所述控制部顯示所述光學部出現問題的同時，對生成于所述激光部的激光光束的輸出能量進行調整，以使所述第二測定部測定的激光光束的輸出能量與所述預先設定的激光光束的輸出能量一致。

3.根據權利要求1所述的激光輸出調整裝置，其特征在于，還包括：

第一射束分離器，該第一射束分離器被安裝在所述激光部和所述光學部之間，用于分離生成于所述激光部的激光光束。

4.根據權利要求3所述的激光輸出調整裝置，其特征在于：

所述第一射束分離器分離的激光光束占生成于所述激光部的激光光束的輸出能量的1%至2%。

5.根據權利要求3所述的激光輸出調整裝置，其特征在于，還包括：

覆蓋板，用于將所述第一射束分離器分離出的激光光束反射到所述第一測定部。

6.根據權利要求1所述的激光輸出調整裝置，其特征在于，還包括：

第二射束分離器，該第二射束分離器設置于所述光學部內部，并對經過所述光學部的激光光束進行分離。

7.根據權利要求6所述的激光輸出調整裝置，其特征在于：

所述第二射束分離器分離的激光光束占經過所述光學部的激光光束的輸出能量的1%至2%。

8.根據權利要求1所述的激光輸出調整裝置，其特征在于：

在所述第二測定部的側面安裝有散射器。

9.根據權利要求8所述的激光輸出調整裝置，其特征在于：

所述散射器被安裝成，與第二測定部的側面呈大于0°且小于45°的角度傾斜。

10.根據權利要求書9所述的激光輸出調整裝置，其特征在于：

所述散射器的材質為熔融石英。

11.一種激光輸出調整方法，其特征在于：

將由第一測定部測定的生成于所述激光部的激光光束的輸出信號以及由第二測定部測定的經過所述光學部的激光光束的輸出信號傳送至所述激光部，從而對生成于所述激光部的激光光束的輸出能量進行調整，其中，所述第一測定部設置在生成激光光束的激光部與提供激光光束經過的路徑的光學部之間，所述第二測定部設置在所述光學部內部。

12.根據權利要求11所述的激光輸出調整方法，其特征在于：

當由所述第一測定部測定的激光光束的輸出能量小于預先設定的激光光束的輸出能量時，在所述控制部顯示所述激光部存在問題的同時，對生成于所述激光部的激光光束進行調整，以使由所述第一測定部測定的激光光束的輸出能量與所述預先設定的激光光束的輸出能量一致，

當由所述第一測定部測定的激光光束的輸出能量與所述預先設定的激光光束的輸出能量一致，而由所述第二測定部測定的激光光束的數據小于所述預先設定的激光光束的輸出能量時，在所述控制部顯示所述光學部出現問題的同時，對生成于所述激光部的激光光束的輸出能量進行調整，以使所述第二測定部測定的激光光束的輸出能量與所述預先設定的激光光束的輸出能量一致。